Курсовая: Технология изготовления интегральных схем. Нанесение металлизации. - текст курсовой. Скачать бесплатно.
Банк рефератов, курсовых и дипломных работ. Много и бесплатно. # | Правила оформления работ | Добавить в избранное
 
 
   
Меню Меню Меню Меню Меню
   
Napishem.com Napishem.com Napishem.com

Курсовая

Технология изготовления интегральных схем. Нанесение металлизации.

Банк рефератов / Радиоэлектроника

Рубрики  Рубрики реферат банка

закрыть
Категория: Курсовая работа
Язык курсовой: Русский
Дата добавления:   
 
Скачать
Microsoft Word, 1115 kb, скачать бесплатно
Обойти Антиплагиат
Повысьте уникальность файла до 80-100% здесь.
Промокод referatbank - cкидка 20%!
Заказать
Узнать стоимость написания уникальной курсовой работы

Узнайте стоимость написания уникальной работы

Министерство образования Российской Федерации Томский политехническ ий университет Кафедра ЭПЭО Домашнее задание № 3 Вариант № 19 Технология изготовления интегральных схем. Нанесение металлизации. Выполнил студент Проверил преподаватель 2004г Современный уровень развития технологии изготовления и нтегральных схем потребовал затраты сотен тысяч человеколет . Из многих вариантов схемотехники и методов изготовления интегральных схем , существовавших с 60-х годов , сохранились только самые эффективные . Чтобы данная конкретная технология оказалась жизнесп о собной , она должна обеспечивать не только качество продукции , но также изготовление именно такой аппаратуры и такого программного обеспечения , на которые есть спрос на рынке. Четкого различия между производственными и схемотехническими решениями не существ ует . Поскольку и те и другие диктуются способами применения ИМС . По способу применения все схемы можно ориентировочно разделить на цифровые и нецифровые (аналоговые ) ИМС . Выбор между биполярной и МОП - технологией можно сделать на основании таких критер и ев , как плотность упаковки , величина рассеиваемой мощности , скорость переключения , помехоустойчивость . Например , схемотехническая реализация цифровых биполярных схем может быть одной из следующих : транзистор - транзисторная логика (Т 2 Л ), логика с эмиттерны ми связями (ЭСЛ ) и интегрально-инжекционная логика (И 2 Л ). МОП-схемы могут быть реализованы в виде МОП - схем с каналом р-типа . МОП – схем с каналом п-типа (р-МОП и п-МОП ) и комплементарных МОП – схем (КМОП ). В настоящий момент каждая из этих реализаций бип олярных и МОП - схем имеет вполне определенные достоинства и недостатки . Поэтому для каждого изделия можно подобрать наиболее подходящую технологию (или набор технологических приемов ). Но – конкуренция изготовителей способствует совершенствованию техноло г ии , поэтому оптимальная технология со временем меняется . Следовательно , при выборе технологии надо пользоваться последними данными. Появляющиеся изменения в схемотехнике и производстве ИМС следует рассматривать скорее как вариант ранее существовавших спосо бов , а не как появление существенно новых технологических методов . Похоже , что основа технологии ИМС к настоящему моменту установилась . Она включает в себя набор методов производства биполярных и МОП - схем и набор схемотехнических приемов. Чтобы изготови ть ИС , необходимо соединить друг с другом проводящими дорожками отдельные приборы , полученные с помощью планарной технологии . Эта процедура обычно называется созданием межсоединений или металлизацией . Металлизация - это один из основных технологических мет о дов производства биполярных схем , которые преобладают с 60-х годов. Самый простой и наиболее широко используемый метод создания межсоединений проиллюстрирован на рис .1. Рис .1. Для присоединения к различным легированным областям полупроводникового прибора может использоваться тонкий слой алюминия. Сначала с тех участков . Где должен быть получен контакт с кремнием , удаляется SiO 2 . Затем на поверхность наносится с лой металла . Для этого обычно используется испарение твердого источника путем бомбардировки электронным пучков в вакуумной камере или распыление (бомбардировка ионами ) в камере низкого давления . Испаренные атомы металла попадают на пластины , где они конде н сируются в виде однородной пленки . Затем металл , обычно алюминий или алюминиевый сплав (например алюминий с небольшими добавками кремния или меди ), с помощью фотолитографии и травления удаляется , как это было описано выше , с тех участков , где его не долж н о быть . Алюминий обычно травится в растворах , содержащих фосфорную кислоту , или удаляется методом сухого травления. По мере уменьшения размеров приборов требования к металлизации становятся все более жесткими . Самые обычные методы систематического уменьше ния размеров элементов ИС (масштабирование ) приводят к увеличению плотности тока в межсоединениях . Если размеры прибора на поверхности уменьшаются в К раз , масштабируемый ток должен уменьшится в то же число раз . Однако поперечное сечение межсоединений ум е ньшается в К 2 раз , так что плотность тока , протекающего через межсоединения , увеличивается в К раз . Это увеличение приводит к росту падения напряжения в межсоединениях , так что меньшая доля приложенного внешнего напряжения будет эффективно действовать на п рибор , входящий в ИС . Чтобы уменьшить этот эффект , важно уменьшать удельное сопротивление материала. В случае МОП ИС , но иногда также и в биполярных схемах , один слой межсоединений может создаваться из поли кристаллического кремния , а для другого применяет ся алюминий . При использовании этих двух слоев соединений в сочетании с возможным созданием диффузионных соединительных дорожек на поверхности кремниевой пластины ток может переноситься в трех различных уровнях . В тех схемах , которые содержат много тысяч п риборов , такая степень свободы является необходимой . В еще более сложных схемах может также использоваться и второй слой металла. Однако удельное сопротивление поликристаллического кремния не может быть меньше 500 мкОм
1Архитектура и строительство
2Астрономия, авиация, космонавтика
 
3Безопасность жизнедеятельности
4Биология
 
5Военная кафедра, гражданская оборона
 
6География, экономическая география
7Геология и геодезия
8Государственное регулирование и налоги
 
9Естествознание
 
10Журналистика
 
11Законодательство и право
12Адвокатура
13Административное право
14Арбитражное процессуальное право
15Банковское право
16Государство и право
17Гражданское право и процесс
18Жилищное право
19Законодательство зарубежных стран
20Земельное право
21Конституционное право
22Конституционное право зарубежных стран
23Международное право
24Муниципальное право
25Налоговое право
26Римское право
27Семейное право
28Таможенное право
29Трудовое право
30Уголовное право и процесс
31Финансовое право
32Хозяйственное право
33Экологическое право
34Юриспруденция
 
35Иностранные языки
36Информатика, информационные технологии
37Базы данных
38Компьютерные сети
39Программирование
40Искусство и культура
41Краеведение
42Культурология
43Музыка
44История
45Биографии
46Историческая личность
47Литература
 
48Маркетинг и реклама
49Математика
50Медицина и здоровье
51Менеджмент
52Антикризисное управление
53Делопроизводство и документооборот
54Логистика
 
55Педагогика
56Политология
57Правоохранительные органы
58Криминалистика и криминология
59Прочее
60Психология
61Юридическая психология
 
62Радиоэлектроника
63Религия
 
64Сельское хозяйство и землепользование
65Социология
66Страхование
 
67Технологии
68Материаловедение
69Машиностроение
70Металлургия
71Транспорт
72Туризм
 
73Физика
74Физкультура и спорт
75Философия
 
76Химия
 
77Экология, охрана природы
78Экономика и финансы
79Анализ хозяйственной деятельности
80Банковское дело и кредитование
81Биржевое дело
82Бухгалтерский учет и аудит
83История экономических учений
84Международные отношения
85Предпринимательство, бизнес, микроэкономика
86Финансы
87Ценные бумаги и фондовый рынок
88Экономика предприятия
89Экономико-математическое моделирование
90Экономическая теория

 Анекдоты - это почти как рефераты, только короткие и смешные Следующий
- Дорогая, мне не нравится как ты выглядишь в этих новых очках.
- Но на мне нет очков!
- Да, но на мне они есть!
Anekdot.ru

Узнайте стоимость курсовой, диплома, реферата на заказ.

Обратите внимание, курсовая по радиоэлектронике "Технология изготовления интегральных схем. Нанесение металлизации.", также как и все другие рефераты, курсовые, дипломные и другие работы вы можете скачать бесплатно.

Смотрите также:


Банк рефератов - РефератБанк.ру
© РефератБанк, 2002 - 2017
Рейтинг@Mail.ru