Курсовая: Технология изготовления интегральных схем. Нанесение металлизации. - текст курсовой. Скачать бесплатно.
Банк рефератов, курсовых и дипломных работ. Много и бесплатно. # | Правила оформления работ | Добавить в избранное
 
 
   
Меню Меню Меню Меню Меню
   
Napishem.com Napishem.com Napishem.com

Курсовая

Технология изготовления интегральных схем. Нанесение металлизации.

Банк рефератов / Радиоэлектроника

Рубрики  Рубрики реферат банка

закрыть
Категория: Курсовая работа
Язык курсовой: Русский
Дата добавления:   
 
Скачать
Microsoft Word, 1115 kb, скачать бесплатно
Заказать
Узнать стоимость написания уникальной курсовой работы

Узнайте стоимость написания уникальной работы

Министерство образования Российской Федерации Томский политехническ ий университет Кафедра ЭПЭО Домашнее задание № 3 Вариант № 19 Технология изготовления интегральных схем. Нанесение металлизации. Выполнил студент Проверил преподаватель 2004г Современный уровень развития технологии изготовления и нтегральных схем потребовал затраты сотен тысяч человеколет . Из многих вариантов схемотехники и методов изготовления интегральных схем , существовавших с 60-х годов , сохранились только самые эффективные . Чтобы данная конкретная технология оказалась жизнесп о собной , она должна обеспечивать не только качество продукции , но также изготовление именно такой аппаратуры и такого программного обеспечения , на которые есть спрос на рынке. Четкого различия между производственными и схемотехническими решениями не существ ует . Поскольку и те и другие диктуются способами применения ИМС . По способу применения все схемы можно ориентировочно разделить на цифровые и нецифровые (аналоговые ) ИМС . Выбор между биполярной и МОП - технологией можно сделать на основании таких критер и ев , как плотность упаковки , величина рассеиваемой мощности , скорость переключения , помехоустойчивость . Например , схемотехническая реализация цифровых биполярных схем может быть одной из следующих : транзистор - транзисторная логика (Т 2 Л ), логика с эмиттерны ми связями (ЭСЛ ) и интегрально-инжекционная логика (И 2 Л ). МОП-схемы могут быть реализованы в виде МОП - схем с каналом р-типа . МОП – схем с каналом п-типа (р-МОП и п-МОП ) и комплементарных МОП – схем (КМОП ). В настоящий момент каждая из этих реализаций бип олярных и МОП - схем имеет вполне определенные достоинства и недостатки . Поэтому для каждого изделия можно подобрать наиболее подходящую технологию (или набор технологических приемов ). Но – конкуренция изготовителей способствует совершенствованию техноло г ии , поэтому оптимальная технология со временем меняется . Следовательно , при выборе технологии надо пользоваться последними данными. Появляющиеся изменения в схемотехнике и производстве ИМС следует рассматривать скорее как вариант ранее существовавших спосо бов , а не как появление существенно новых технологических методов . Похоже , что основа технологии ИМС к настоящему моменту установилась . Она включает в себя набор методов производства биполярных и МОП - схем и набор схемотехнических приемов. Чтобы изготови ть ИС , необходимо соединить друг с другом проводящими дорожками отдельные приборы , полученные с помощью планарной технологии . Эта процедура обычно называется созданием межсоединений или металлизацией . Металлизация - это один из основных технологических мет о дов производства биполярных схем , которые преобладают с 60-х годов. Самый простой и наиболее широко используемый метод создания межсоединений проиллюстрирован на рис .1. Рис .1. Для присоединения к различным легированным областям полупроводникового прибора может использоваться тонкий слой алюминия. Сначала с тех участков . Где должен быть получен контакт с кремнием , удаляется SiO 2 . Затем на поверхность наносится с лой металла . Для этого обычно используется испарение твердого источника путем бомбардировки электронным пучков в вакуумной камере или распыление (бомбардировка ионами ) в камере низкого давления . Испаренные атомы металла попадают на пластины , где они конде н сируются в виде однородной пленки . Затем металл , обычно алюминий или алюминиевый сплав (например алюминий с небольшими добавками кремния или меди ), с помощью фотолитографии и травления удаляется , как это было описано выше , с тех участков , где его не долж н о быть . Алюминий обычно травится в растворах , содержащих фосфорную кислоту , или удаляется методом сухого травления. По мере уменьшения размеров приборов требования к металлизации становятся все более жесткими . Самые обычные методы систематического уменьше ния размеров элементов ИС (масштабирование ) приводят к увеличению плотности тока в межсоединениях . Если размеры прибора на поверхности уменьшаются в К раз , масштабируемый ток должен уменьшится в то же число раз . Однако поперечное сечение межсоединений ум е ньшается в К 2 раз , так что плотность тока , протекающего через межсоединения , увеличивается в К раз . Это увеличение приводит к росту падения напряжения в межсоединениях , так что меньшая доля приложенного внешнего напряжения будет эффективно действовать на п рибор , входящий в ИС . Чтобы уменьшить этот эффект , важно уменьшать удельное сопротивление материала. В случае МОП ИС , но иногда также и в биполярных схемах , один слой межсоединений может создаваться из поли кристаллического кремния , а для другого применяет ся алюминий . При использовании этих двух слоев соединений в сочетании с возможным созданием диффузионных соединительных дорожек на поверхности кремниевой пластины ток может переноситься в трех различных уровнях . В тех схемах , которые содержат много тысяч п риборов , такая степень свободы является необходимой . В еще более сложных схемах может также использоваться и второй слой металла. Однако удельное сопротивление поликристаллического кремния не может быть меньше 500 мкОм
1Архитектура и строительство
2Астрономия, авиация, космонавтика
 
3Безопасность жизнедеятельности
4Биология
 
5Военная кафедра, гражданская оборона
 
6География, экономическая география
7Геология и геодезия
8Государственное регулирование и налоги
 
9Естествознание
 
10Журналистика
 
11Законодательство и право
12Адвокатура
13Административное право
14Арбитражное процессуальное право
15Банковское право
16Государство и право
17Гражданское право и процесс
18Жилищное право
19Законодательство зарубежных стран
20Земельное право
21Конституционное право
22Конституционное право зарубежных стран
23Международное право
24Муниципальное право
25Налоговое право
26Римское право
27Семейное право
28Таможенное право
29Трудовое право
30Уголовное право и процесс
31Финансовое право
32Хозяйственное право
33Экологическое право
34Юриспруденция
 
35Иностранные языки
36Информатика, информационные технологии
37Базы данных
38Компьютерные сети
39Программирование
40Искусство и культура
41Краеведение
42Культурология
43Музыка
44История
45Биографии
46Историческая личность
47Литература
 
48Маркетинг и реклама
49Математика
50Медицина и здоровье
51Менеджмент
52Антикризисное управление
53Делопроизводство и документооборот
54Логистика
 
55Педагогика
56Политология
57Правоохранительные органы
58Криминалистика и криминология
59Прочее
60Психология
61Юридическая психология
 
62Радиоэлектроника
63Религия
 
64Сельское хозяйство и землепользование
65Социология
66Страхование
 
67Технологии
68Материаловедение
69Машиностроение
70Металлургия
71Транспорт
72Туризм
 
73Физика
74Физкультура и спорт
75Философия
 
76Химия
 
77Экология, охрана природы
78Экономика и финансы
79Анализ хозяйственной деятельности
80Банковское дело и кредитование
81Биржевое дело
82Бухгалтерский учет и аудит
83История экономических учений
84Международные отношения
85Предпринимательство, бизнес, микроэкономика
86Финансы
87Ценные бумаги и фондовый рынок
88Экономика предприятия
89Экономико-математическое моделирование
90Экономическая теория

 Анекдоты - это почти как рефераты, только короткие и смешные Следующий
Блондинка заявляет:
- Я сегодня поняла, что нужно работать не по 12 часов в сутки, а головой...
Anekdot.ru

Узнайте стоимость курсовой, диплома, реферата на заказ.

Обратите внимание, курсовая по радиоэлектронике "Технология изготовления интегральных схем. Нанесение металлизации.", также как и все другие рефераты, курсовые, дипломные и другие работы вы можете скачать бесплатно.

Смотрите также:


Банк рефератов - РефератБанк.ру
© РефератБанк, 2002 - 2016
Рейтинг@Mail.ru