Диплом: Современное состояние исследований в области функциональных конденсационных покрытий высокой проводимости - текст диплома. Скачать бесплатно.
Банк рефератов, курсовых и дипломных работ. Много и бесплатно. # | Правила оформления работ | Добавить в избранное
 
 
   
Меню Меню Меню Меню Меню
   
Napishem.com Napishem.com Napishem.com

Диплом

Современное состояние исследований в области функциональных конденсационных покрытий высокой проводимости

Банк рефератов / Физика

Рубрики  Рубрики реферат банка

закрыть
Категория: Дипломная работа
Язык диплома: Русский
Дата добавления:   
 
Скачать
Microsoft Word, 1139 kb, скачать бесплатно
Заказать
Узнать стоимость написания уникальной дипломной работы

Узнайте стоимость написания уникальной работы

10 ДИПЛОМН ая работа современное состояние исследований в области функциональных конденсационных покрытий высокой проводимости ВСТУПЛЕНИЕ Получение и применение функциональных пленок и покрытий в п о следние 30-40 лет характеризуется стремительным ростом и во многих о т раслях промышленности занимает ключевые позиции. Особенно это отн о сится к электронной технике, где тонкие пленки являются элементами ра з личных устройств крупносерийного производства. Особое место занимают функциональные пленки и покрытия из мат е риалов высокой проводимости – токоведущие дорожки интеграл ь ных схем, слаботочные узлы коммутации исполнительных элементов электронных и электротехнических устройств, активные и пассивные элементы узлов ко м пьютеров, электрические контакты и пр. Наряду с традиционными матери а лами (золото, серебро, платина и сплавы на их основе), в последние годы широко внедряются материалы-заменители (медь и её сплавы, алюминиевые сплавы и пр.). Использование материалов-заменителей позволяет решить т а кую важную народнохозяйственную задачу, как замена драгметаллов; одн о временно существенно снижается себестоимость продукции. Нами обобщен научный и производственный опыт отечественных и з а рубежных ученых в области научных исследований и технологических ра з работок различных функциональных пленок и покрытий из материалов в ы сокой проводимости [90, 91, 92]. С точки зрения технологии получения, о с новное внимание уделено методу термовакуумного нап ы ления [60, 124, 125, 135], который является наиболее перспективным и широко используется в электронной технике. 90 1.1. Основные типы токопроводящих покрытий и их свойства Токопроводящие плёнки наиболее распространённый класс функц и ональных покрытий в различных устройствах электронной те х ники. К ним относятся пассивные плёночные элементы, токопроводящие каналы микр о схем, элементы коммутирующих устройств 28, 99, 181 , контактные пл о щадки переме н ных непроволочных резисторов. Общие требования, предъявляемые к материалам токопроводящих и к контактным площадкам, следующие: высокие электро- и теплопроводность; стабильность электрических параметров при воздействии агресси в ных сред (коррозионная стойкость); износоустойчивость покрытия (характерно для слаботочных скол ь зящих контактов); способность к сварке и спайке (особенно для элементов коммут а ции). Наиболее широкое распространение получили благородные мета л лы золото, серебро, платина и их сплавы. Комплекс исследований, вкл ю чающий механические, электрические и коррозионные испытания, показал, что п о крытия из золота и его сплавов обладают более низкой твёрдостью, электр о проводностью и коррозионной стойкостью по сравнению с серебряными п о крытиями 158 . Серебро широко применяется для изг о товления различного вида контактов. В работе 175 изучено влияние окислов Mg , Al , Mn , Sn , Zr , La , Cd и Mo (окислы образовывались в результате внутреннего окисления соответствующих сплавов на эрозионный износ серебряных контактов. Уст а новлено, что наибольшие потери были в случае наличия окислов Al и Mo , а наименьшие наблюдались для чистого серебра и сплавов серебра, соде р жащих Cd и Zr . Сплавы Ag - Cd О успешно применяются для покрытий эле к трических контактов, раб о тающих при t 40 и относительной влажности 95 %, а также в сухой атмосф е ре при t 120 С. Кроме серебра и золота для получения контактов используют моли б ден, платину, палладий и сплавы на их основе, обеспечивающие хорошую коррозионную стойкость и стабильность контактной проводим о сти 165 . В последнее время наблюдается тенденция замены благородных мета л лов более экономичными металлами и сплавами с сохранением функци о нальных свойств покрытий 46, 139, 145, 186 . По электрическим характер и стикам, на и более близким к серебру металлом является медь. Медь обладает высокими значениями тепло- и электропроводн о сти, дешева. В связи с этим медь нашла широкое применение в разли ч ного вида контактах, работающих при значительных механических ус и лиях с притирающим действием или при напряжениях, способных пробить поверхностные окисные плёнки. Преим у щества меди заключаются в том, что вследствие высокой теплоёмкости, ме д ные контакты меньше подвержены перегреву током, чем серебряные. Одн а ко, из-за лёгкой окисляем о сти и малой стойкости к истиранию применение чистой меди огр а ничено. Предпочтительнее для создания контактных покрытий применять сплавы на основе меди. Выбор легирующих элементов определяется след у ющими соображениями: улучшением адгезии покрытий к подложкам, пов ы шением свариваемости плёнок с различными элементами схемы, повышен и ем износоустойчивости, обеспечением коррозионной стойкости в разли ч ных средах 17, 23, 24, 42, 60, 135 . Исследования коррозионной стойкости, пр о ведённые для 25 сплавов меди показали, что в промышленной атмосфере д о бавки Al , Ni и Sn к меди повышают, а Mn снижают коррозионную сто й кость, в тоже время в морской воде присутствие Ni и Mn повышают атм о сферостойкость сплавов на основе меди 171 . Сплавы, используемые для и з готовления контактных участков р е зисторов и токопроводящих элементов микросхем, обладающие необходимыми эксплуатационными свойствами предложены в 5, 6 . Существует определенная связь между электрофизическими свойств а ми тонкопленочных конденсированных структур и условиями их получения [91]. Основными технологическими параметрами, определяющими электр о физические свойства плёнок, полученных при термическом испарении м е таллов в вакууме, являются скорость испарения, степень вакуума, температ у ра подложки, толщина плёнки и её состав, а также режимы предварительной и последующей обр а ботки 4, 14, 60, 118, 124, 125, 151]. Температура подложки определяет механизм конденсации плёнки, ст е пень её фазовой и структурной неравномерности. С повышением температ у ры подложки усиливаются диффузионные процессы, способствующие уп о рядочению кристаллической решётки и увеличению плотности конденсиру е мой плёнки. Удельное сопротивление плёнки зависит от температуры по д ложки [13, 14]. Величина сопротивления плёнки уменьшается, температу р ный коэффициент сопротивления сдвигается в сторону положительных зн а чений, стабильность электрических х а рактеристик улучшается. Сравнение зависимостей и ТКС от температуры подложки для плёнок никеля, алюм и ния и золота толщиной 0,5мкм [11] показывают более существенную чу в ствительность этих п а раметров для плёнок никеля и алюминия в сравнении с пленками зол о та. Электрическое сопротивление определяется не только температурой подложки, но также скоростью осаждения, степенью вакуума, а также пр о должительностью испарения 120 . Плёнки равной толщины, но напыле н ные в течение более короткого промежутка времени или при меньшем давлении остаточных газов, имеют меньшее удельное сопротивление, чем плёнки, напыленные при более длительном испарении и большем давлении остато ч ных газов. На основании проведённых исследований предложен способ п о лучения слоёв с заданными электрическими характерист и ками. Свойства тонкопленочных конденсированных структур в знач и тельной степени определяются их толщиной. Очень тонкие плёнки (до 20 нм) обл а дают весьма высоким удельным сопротивлением и отрицательным ТКС. Б о лее толстые плёнки (до нескольких мкм) имеют более низкое сопротивление и положи тельный ТКС. Начиная с 25-30н м электрическое сопротивление стабилизируется. Экспериментальные зависимости = f ( h ) и ТКС= f ( h ) для плёнок Au , Al и Ni , применяемых в микроэлектронике для изготовления то н коплёночных конденсаторов, ко н тактных площадок и коммутационных шин [104], показывают, что стабилизация удельного сопротивления плёнок Au наступает при толщинах более 30 нм. Для плёнок Al и Ni стабилизация эле к трических параметров не наблюдается даже при толщине плёнки более 1 мкм. Состав конденсатов оказывает наибольшее влияние на их электропар а метры. Установлено [31, 121], что удельное сопротивление плёнок, получе н ных напылением сплавов меди с добавками Mn , Zr , Ti , Si существенно ниже удельного сопротивления исходного сплава. На осн о вании теоретических и экспериментальных исследований авторами работ 34, 119 разработана ко н центрационно-зёренная модель, объясняющая закономерности формиров а ния состава и свойств многокомпонентных металлических плёнок при по л ном испарении и конденсации сплавов в вакууме. Введение легирующих элементов в исходный сплав на основе меди позволяет существенно улу ч шить свойства плёнок без значительного увеличения их сопротивления. В работе 119 исследованы закономерности формирования структуры и эле к трических свойств вакуумных плёнок сплавов на основе меди, рекоменд о ванных для изг о товления контактов. Термообработка свеженапыленных конденсатов оказывает определе н ное влияние на электропараметры, причем весьма незначительное при ко н денсации на нагретую подложку. Для каждого металла существует опред е лённая температура, при которой происходят структурные превращения в плёнках. Удельное сопротивление является мерой неупорядоченности р е шётки 170, 183 . В некоторых случаях термообработка может привести к увеличению удельного сопротивления вследствие процессов окисления и спекания. Это увеличение сопротивления плёнки много больше того, которое можно было ожидать, исходя только из уменьшения толщины проводящего участка, обусловленного окислением. Это связано с тем, что окисление пр о исходит по границам зерна. В случае плёнок сплавов возможно также изб и рательное окисление одного из компонентов (данные Е.Дина, 1964г.). Одн а ко, когда окисление этого компонента завершается, более важное значение приобретает отжиг д е фектов, в результате чего сопротивление со временем начинает умен ь шаться. Даже самый поверхностный анализ показывает, что наиболее униве р сальным методом получения функциональных конденсированных пленок высокой проводимости является испарение и конденсация металлов в ваку у ме [8, 22, 25, 42, 51, 60, 135]. При этом, как отмечено нами в [91], отлич и тельной особенностью испарения сплавов в вакууме явл я ется невозможность применения к ним метода суперпозиции, т.е. исп а рение каждого компонента нельзя рассматривать изолированно, независимо от наличия других комп о нентов 125 . В зависимости от функционального назначения плёнок применяются различные способы испарения сплавов в вакууме 8, 51, 125 : испарение конечной навески сплава из одного источника; испарение сплава или одного компонента с непрерывной догрузкой тигля сплавом или другим компонентом (стационарное испарение); взрывное испарение небольших дискретных порций сплава, непр е рывно подаваемого в испаритель. Специфика теоретических расчетов и экспериментального исследов а ния закономерностей испарения и конденсации сплавов в вакууме [80, 110, 111, 130] определяет необходимость детальной систематизации научных р а бот в указанном направлении. Некоторые физико-химические аспекты те х нологии получения многокомпонентных конденсированных систем обобщ е ны и проанализированы нами в работе [190] и в следующем пункте насто я щего раздела. 2. Особенности получения многокомпонентных систем в ваку у ме Технологические процессы, основанные на испарении и конденсации металлов в вакууме [27, 120, 125, 142], получили широкое распр о странение в различных отраслях промышленности как альтернатива традиционным гал ь ваническим методам нанесения покрытий. Преимущества вакуумной техн о логии заключаются, прежде всего, в экологической чистоте процесса, выс о кой экономической эффективности, в ы сокой производительности процесса. Системный анализ этой технологии, а также конкретные примеры её практ и ческой реализации соде р жатся в монографиях [60, 120, 125, 135], а также в научных статьях с о трудников ОНАПТ (ранее ОТИПП им.М.В. Ломоносова), опубликованных в период 60-90-х годов прошлого ст о летия. Применительно к задачам настоящей работы наибольший интерес представляют многокомпонентные вакуумные пленки и покрытия [60], кот о рые во многих случаях превосходят по своим физико-химическим, электр о физическим, защитным и эксплуатационным характеристикам аналогичные системы из чи с тых металлов [120, 125]. Основной трудностью, возникающей при промышленном внедрении технологии получения многокомпонентных функциональных покрытий, я в ляется правильный выбор способа испарения сплавов и формирования п о крытий [1, 60, 90, 91, 125, 127, 135, 190]. Выбор конкретного метода опред е ляется задачами исследований, требованиями, предъявляемыми к эксплуат а ционным характер и стикам покрытий и их физико-химическими свойствами [72, 83] и рядом других факт о ров. Ретроспективный обзор научной и научно-технической литературы в области теоретического анализа закономерностей формирования многоко м понентных конденсированных систем [90] показывает, что основным мет о дом является прямое испарение готовых сплавов в вакууме. Этот способ наиболее прост с точки зрения конструктивного решения, широко использ у ется в практике научных исследований и в производстве [90, 91, 190]. Впе р вые он был рассмотрен в работах [1, 127]. Отдельные аспекты обзоров вошли в монографию [125]. В дальнейшем анализ работ в этом направлении поэта п но систематизир о вался [54, 60, 62, 135]. Известно, что скорость испарения чистого вещества в вакууме опред е ляется температурой его испарения [27, 113, 120, 142] и существенно меняе т ся при наличии примесей. В первом приближении при анализе закономерн о стей испарения сплавов в вакууме справедлив закон Рауля [113], аналитич е ская запись которого для бинарного сплава может быть представлена в сл е дующем в и де: , (1.1) где p A – давление паров чистого компонента А; p – давление паров при наличии компонента В; N A и N B – число молей компонентов А и В; n B – м о лярная доля компонента В. Тенденции устанавливаемых законом Рауля в общем соблюдаются при испарении сплавов. Вместе с тем, у всех реальных сплавов наблюдается о т клонение от закона Рауля. Для применения этого закона к реальным сист е мам вводят коэффициенты активности ( f ), представляющие собой о т ношение реального давления паров к давлению над идеальным раствором. При расч е тах скорости испарения компонента сплава в формулу Лэнгмюра вносят с о ответствующие поправки. Из немногочисленных экспериментальных данных удалось уст а новить некоторые общие закономерности. Так, по характеру испарения бинарные сплавы можно разделить на две группы [27 ] . К первой группе относятся сплавы, имеющие отрицательное отклонение от закона Рауля ( f <1). Как пр а вило, такая закономерность наблюдается в двойных системах, в которых о б разуются интерметаллические соединения или непрерывный ряд твердых растворов (например, А g -А u ). Ко второй группе относятся системы, име ю щие положительное отклонение от закона Рауля ( f >1). Это системы эвтект и ческого типа ( Sn - Zn , Al - Zn , Pb - Cd , Cd - Zn ) и сплавы с ограниченной раств о римостью в твердом состоянии ( Pb - Zn ). Если же наряду с эвтектиками обр а зуются интерметаллические соединения (например, А g -А l ), то знак отклон е ния от закона Рауля зависит от темпер а туры и концентрации. Отклонение от закона Рауля объясняется наличием сил связи между разнородными ат о мами. Так, чем больше сила связи, тем более отрицательное отклонение от идеал ь ного сплава. Наиболее сильные отклонения наблюдаются для многокомп о нентных систем, например, для системы Ni - Cr - Cu - Al [164, 180]. Авторами предложена физико-химическая модель испарения, которая, однако, имеет существенные ограничения. Сложность построения геометрической модели испарения многоко м понентных сплавов и проведения теоретического анализа закон о мерностей формирования покрытий отмечают также авторы работы [128] на основ а нии исследований закономерностей испарения сплавов Si - Cr - Al - W и Si - Cr - W . Наблюдающееся отрицательное отклонение от закона Рауля для Si можно объяснить тем, что какая-то его часть находится в сплаве в связанном сост о янии. Возможны также методические ошибки в определении состава в о т дельные моменты времени, обусловленные наличием переходн о го режима в процессе разогрева испарителя. Наличие переходного режиме было отмечено при изучении закономерностей испарения и конденсации сплавов Pb - Sn [110]. При разработке технологии нанесения покрытий из сплавов методом испарения и конденсации в вакууме необходимо решать задачу обеспеч е ния максимально возможного приближения состава покрытия к составу испаря е мого сплава. Расчеты показывают, что решению этой задачи способствует повышение температуры испарения; при этом различие в скоростях испар е ния комп о нентов снижается. Установлено [115, 116], что для каждого сплава существует такая температура испарения, при которой составы конденсата и исходного сплава практически одинаковы. Обычно эти температуры испар е ния существенно выше применяемых на практике: 1200°С ( Pb - Bi ), 1500°С ( Zn - Cd ), 2200±200°С ( Mg - Cd ) . Отметим некоторые экспериментально наблюдаемые особенности и с парения конечных навесок сплавов. Характерной особенностью метода исп а рения конечных навесок сплавов является фракционирование, [54, 120, 140], обусловленное различием скоростей испарения компоне н тов, образующих сплав. Формирующееся на подложке покрытие имеет неоднородный состав по толщине: начальные слои обогащены легколетучим компонентом, в п о следующих слоях преобладает вещество с малой упруг о стью паров. Для получения покрытия такого же состава, как и испаряемое вещ е ство, должно выполняться условие: , (1.2) где – молекулярная масса компонента, f – коэффициент активности компонента, р o – давление паров чистого компонента. Сравнение величины для разных материалов при одинак о вой температуре показывает, что без значительного фракционирования исп а ряются двухко м понентные сплавы из металлов только двух групп [142]: Al , Cr , Cu и Fe , Au , Ti , Ni . В общем случае при испарении из одного тигля состав покрытия отл и чается от состава сплава в испарителе, но однозначно определяется им. П о дробный теоретический анализ испарения бинарного сплава из одного и с точника приведен в работах [74, 115, 120, 125, 140]. Основным и наиболее важным выводом приведенных расчетов является то, что существует теор е тическая возможность получения заданного состава в покрытии, если исп а рять не всю навеску, а только 5-10% содержимого тигля. Получению ст а бильного состава покрытия способствует также повышение температуры и с парения. При исследовании испарения конечных навесок сплавов наблюдается аномальное испарение отдельных компонентов. Так, при испарении сплава Al - Mg - Zn [116] в конденсате обнаружено повышенное содержание Al , в сравн е нии с теоретическим расчетом, а при быстром испарении сплава Pb - Zn в конденсатах содержится до 50% Pb . Ряд исследователей [103, 109, 115, 116, 189] объясняют отклонение от закона Рауля недостаточной скоростью ди ф фузии легколетучего элемента из объема к поверхности испарения и обедн е ния, вследствие этого, поверхности легколетучим компонентом. Приближе н ная оценка влияния диффузии в расплаве на характер испарения приведена в работе [189], точное решение уравнения диффузии легколетучего компоне н та к поверхности при испарении сплава п о лучено в работе [129]. Аномальное испарение нелетучего компонента, обусловленное нед о статочной скоростью диффузии легколетучего компонента к поверхности расплава, связано с температурным режимом испарения. Например, при и н тенсивном режиме испарения сплава Pb - Sn [109] (температура испарения 1100 C ) в начальной стадии сплав удовлетворительно подчиняется закону Рауля, однако в дальнейшем наблюдается аномальное испарение Sn , хотя данная система в целом хорошо соответствует идеальному сплаву ( f Pb f Sn 1). Ориентировочный расчет коэффициента диффузии Р b в распл а ве показывает, что вблизи поверхности существует градиент концентрации. Если же темп е ратура испарения сплава Р b - Sn составляет 1500-1700°С [110], то экспериме н тальные и теоретические кривые кинетики фракционирования практич е ски совпадают. Достаточным условием устранения аномального испарения тру д нолетучего компонента является конвективное перемешивание расплава в тигле, что обеспечивается небольшой глубиной тигля по сравнению с п о верхностью испарения и небольшой скоростью и с парения. Фракционирование, характерное для метода испарения конечных нав е сок, в большинстве случаев является вредным явлением, от которого на практике стараются избавиться. Однако, в последнее время появились раб о ты, описывающие положительные стороны фракционир о вания. Так, авторы работ [29, 182], рекомендуют метод испарения к о нечной навески сплава для контролируемого легирования полупрово д ников. В целом, можно сказать, что точные теоретические расчеты исп а рения сплавов в вакууме возможны только для ограниченного числа двойных с и стем. Холлэнд [142] и Дэшман [27] считают, что хотя закон Рауля и дает во з можность сделать приближенные полуколичественные оценки закономерн о стей испарения реальных систем, однако истинное поведение спл а вов при их испарении в вакууме следует изучать только экспериментально, анализируя составы конденсатов и тигля в разли ч ные моменты времени. Практические методы изучения фракционир о вания анализируются в [90, 190]. 3. Расчеты режимов испарения конечных навесок сплавов Метод испарения конечных навесок, с точки зрения конструктивного решения, является одним из наиболее простых способов получения вакуу м ных покрытий из сплавов, однако теоретический анализ закономерностей процесса выполняется различными исследователями по-разному. Один из первых расчетов выполнен Цинсмейстером [189]. Недостатком расчетов я в ляется отсутствие аналитических выражений для кинетики фракциониров а ния и распределения компонентов по толщине покрытия, но именно эти п а раметры имеют важное практическое значение. В частн о сти, распределение компонентов по толщине покрытий оказывает существенное влияние на те х нологические и эксплуатационные свойства покр ы тий. Авторами [54, 60, 135] впервые был предложен новый метод расчета фракционирования бинарных систем при испарении в вакууме конечных навесок. Суть метода заключается в следующем. Пусть в момент времени t =0 в тигле находился бинарный сплав с весомым содержанием комп о нентов m 10 и m 20 (расчеты приведены к единичной поверхности испарения). В прои з вольный момент времени t в тигле остается m 1 и m 2 г/см 2 каждого компоне н та, соотношение которых будет отличаться от первоначального соотношения m 10 и m 20 . За время dt с учетом выражения для скоростей испарения [27], убыль массы каждого компонента определится следующим обр а зом: . (1.4) где 1 и 2 – молекулярные (атомные) массы компонентов; и – упругости паров чистых компонентов при температуре Т; n 1 ( t ) и n 2 ( t ) – м о лярные доли компонентов; f 1 и f 2 – коэффициенты активности комп о нентов в сплаве; к – постоянный коэффициент, зависящий от выбора системы единиц. Если и выражены в мм рт.ст., то к = 0,0585, если в Па – то к = 7,7 10 4 . Расчёты кинетики фракционирования 60, 135 с использованием с и стемы уравнений (1.4) позволяют судить о распределении компонентов спл а ва по толщине покрытия. Этот параметр является основной характеристикой функционального покрытия, определяя его электрические, физические и эк с плуатационные свойства. Задача об изменении состава покрытия как фун к ции времени и о распределении с о става по толщине покрытия решена в работе 140 в предположении конвективного перемеш и вания расплава в тигле 110 и фиксированной температуре испарения. Ан а литические выр а жения , (1.5) (1.6) позволяют определить содержание легирующего компонента в п о крытии в произвольный момент времени и оценить распределение легир у ющего компонента по толщине покрытия h (отн.ед.) при полном испар е нии навески. Постоянные , , и определяются термодинамич е скими свойствами компонентов сплава и геометрией и с парения 60, 135 . Данная методика применима к любому бинарному сплаву при у с ловии выполнения закона Рауля. Она может быть распространена и на сист е мы с числом компонентов более 2-х 76 . Основное её ограничение предполож е ние о равенстве единиц коэффициентов активности всех компонентов сплава. Схема расчетов , для двойных систем, может быть распространена и на системе с числом компонентов больше двух. В общем виде задача об изм е нении состава покрытия во времени решена в работе [45]. Приведенные в работе [45] общие формулы в частном случае при n =2 совпадают с формулами [140] с точностью до коэффициента акти в ности. Результаты теоретических расчетов фракционирования и распредел е ния состава по толщине покрытия, предложенные в работах [45, 140], можно использовать при анализе систем, слабо отклоняющихся от идеальности (например, Fe - Cr [174, 185], Pb - Sn [110] и др.), либо при о т сутствии данных об активности компонентов в сплаве. В том случае, когда активности комп о нентов в спл а ве известны или их определение не представляет практических трудностей, можно рекомендовать методику расчета фракционирования, предложенную авторами работ [30, 78, 112] и использованную ими при из у чении закономерностей испарения сплавов Cu - Al . Выведенные формулы св я зывают, в общем виде, состав конденсата с составом расплава в любой пр о извольно выбранный промежуток времени из полного цикла испарения. По л ный цикл испарения разбивается на i интервалов; в течение каждого из кот о рых коэффициенты конденсации A , B и коэффициенты активности f A и f B определены и постоянны (рассматривается бина р ный сплав). Анализ метода расчета фракционирования бинарных систем, предл о женного в [30, 78, 112], показывает его несомненные преимущества при из у чении закономерностей испарения двойных систем, для кот о рых известны коэффициенты активности f . Методика может быть успешно применена и при анализе испарения “идеальных” систем. Недостаток данного методич е ского подхода к решению задачи о фракционировании заключ а ется в том, что для систем с числом компонентов более трех вывод расчетных формул сл о жен и в настоящее время отсутств у ет [190]. Можно сказать, что методы расчета фракционирования многокомп о нентных систем при испарении конечных навесок, приведенные в ы ше, дают возможность решить практически все задачи, возникающие при изучении испарения и конденсации сплавов в вакууме. Применение того или иного м е тода определяется задачами исследования, необходимой точностью опред е ления изучаемых параметров, наличием данных о термодинамической акти в ности компоне н тов в расплаве. Из других методов решения аналогичных задач следует отметить раб о ту [2]. Авторы получили в неявном виде зависимость концентрации комп о нента в тигле от времени и начальных условий. Уравнение, пок а зывающее, каким должно быть отношение скоростей испарения чистых ко м понентов U , чтобы при заданных начальных условиях покрытие имело необходимый с о став и толщину, записывается в в и де: , (1.7) где М ' – масса конденсата, М 0 – начальная масса сплава в испарителе, с 01 – исходная концентрация компонента в испарителе, с ' 1 – необходимая концентр а ция компонента в покрытии. Авторы [60, 126] отмечают, что формула (1.7) имеет ограниченное применение, так как отношение скоростей испарения чистых компоне н тов почти не зависит от температуры, что затрудняет выбор режима и с парения. Если же подставить действительное отношение скоростей испарения комп о нентов при различных температурах, то уравнение (1.7) для ряда двойных систем (например, Cu - Zn ) не решается ни при каких начальных условиях. Применение соотношения (1.7) ограничивается сплавами, компоненты кот о рых мало отличаются по скоростям испар е ния (например, система Ag - Au ). Именно для такого сплава авторы работы [2] провели экспериментальную проверку предложенного ими метода ра с чета. В некоторых случаях модель идеального раствора не удовлетворяет н е обходимой точности расчета фракционирования и распределения состава по толщине покрытия, вследствие чего значение термодинамической активн о сти ко м понентов становится обязательным. Данных об активности компонентов в двойных системах в литературе довольно мало. В табл. 1.1 приведены данные об активности цинка в медно-цинковых сплавах [27], из которых видно, что в диапазоне зн а чений n более 0,8 значения f совпадают со значениями n и, таким образом, сплавы этих с о ставов при их испарении в вакууме подчиняются закону Рауля. В области малых концентраций цинка имеет место отрицательное отклон е ние от закона Рауля. Авторами работы [78] определены значения активности компоне н тов в расплаве системы Cu - Al . Приведенные ими данные по составу конденсатов и соответствующих им расплавам использованы для опр е деления активности меди в жидких расплавах Cu - Al графическим интегрированием ура в нения: . (1.8) Таблица 1 Значения c , n , a и f для медно-цинковых сплавов при 727 С Весовая конце н трация (% по массе), с Молярная концентр а ция, п Акти в ность, а Коэффициент активн о сти, f 5,3 0,052 0,0045 0,0865 9,7 0,094 0,0086 0,0915 14,8 0,144 0,0185 0,128 20,0 0,195 0,0301 0,154 26,0 0,255 0,0545 0,214 38,0 0,373 0,134 0,480 * 46,0 0,453 0,200 0,460 48,0 0,481 0,246 0,51 51,1 0,504 0,291 0,58 * – для -фазы f = 0,31 Активность меди рассчитывалась по площади, ограниченной кривой зависимости с поправкой на молекулярные массы комп о нентов. Затем, по значениям активности меди, рассчитывался коэфф и циент активности . Коэффициент активности алюминия в сплавах С u -А l определялся по коэффициенту активности меди графическим интегриров а нием известного уравнения Гиббса-Дюгема, для данной системы имеющ е го вид: . (1.9) Возможность графического определения величины этого интеграла д о казана в работе [26], так как величина f Al всегда конечна. Результаты эксп е риментов работы [30] и сопоставление их с экспериментальн ы ми данными других исследователей [187] показывают, что значения активности меди в сплавах с содержан и ем алюминия более 10 вес.% не совпадают: по данным [30] активность меди в расплавах выше. Объясняют этот эффект [78] взаим о действием части алюминия с материалом испарителя с образованием туг о плавких соединений и снижением содержания алюминия в распл а ве. Данные об активности алюминия в сплавах С u -А l могут быть испол ь зованы для расчета режима стационарного испарения (см. п. 1.4) при нанес е нии покрытий на полосовые материалы в непрерывном или полунепреры в ном режимах металл и зации [60, 125, 135]. Авторы работы [45] определяли коэффициенты активности несколько иным методом. Для двойных систем нетрудно пол у чить, что , (1.10) , (1.11) где и – концентрации компонентов в покрытии при t = 0. Соо т ношения (1.10) и (1.11) позволяют определить коэффициент активности опытным путем. Эксперимент, проведенный на сплаве Fe - Cr при температуре исп а рения 1600 °С показал, что , при м 2 /кг. Отношение . Близость f Fe и f Cr к единице указывает на то, что исследуемый сплав по свойствам приближается к ид е альному раствору. Для некоторых других систем данные об активности ко м поне н тов приведены в работе [161] . Существующие экспериментальные исследования фракционир о вания в своей основе имеют один принцип: сопоставление данных о составе конде н сатов и расплава на различных стадиях испарения навески. Однако экспер и ментально эта задача решается различными методами. Детально все извес т ные м е тоды проанализированы в работах [54, 60, 135]. 4. Закономерности формирования многокомпонентных систем в реж и ме стационарного испарения сплавов В основном, метод испарения конечных навесок используется только при получении тонких пленок различного назначения, причем одним из об я зательных условий технологии является фиксированная геометрия испар е ния, т.е. осаждение пленок проводится на неподвижные относительно исп а рителя по д ложки. В условиях массового производства, а также при необходимости пол у чения покрытий значительной толщины (более 30...40мкм [125]) в практике вакуумной металлизации применяют метод стационарного испарения [60, 135] (в з а рубежной литературе используется термин Steady - State evaporation ), при котором состав сплава в испарителе, а следов а тельно, и состав пара над ним и конденсата стабилизируется за счет н е прерывной подачи в испаритель компонентов сплава. Впервые теорет и ческие аспекты испарения сплавов в стационарном режиме рассмотрены в работах Дейла [157], Фостера и Пфа й фера [160], кинетика и термодинамика процесса стационарного испарения двойных сплавов приведена в работе [174], сведения о промышленном и с пользовании метода стационарного испарения – в обзоре [187] и в моногр а фии [125]. Методика расчета стационарного состояния может быть распростран е на на случай нескольких компонентов, если не образуются интерметаллич е ские соединения, приводящие к отклонению от закона Рауля. На основании баланса масс можно записать: , (1.12) где V – объем сплаве в испарителе; S – площадь поверхностного исп а рения; c 1 – концентрация компонента в испарителе (моль/ед. объема); c 10 – концентрация компонента в подаваемом материале (моль/ед.объема); R – скорость п о дачи материала (моль/с). В работе [157] рассмотрены три варианта установления стаци о нарного с о стояния, отличающиеся начальными условиями. Подробный анализ всех трех вариантов обсуждается в [190]. Большое значение для практического осуществления метода имеет и с следование переходного режима от начала испарения до установления стац и онарного состояния, в частности, определение времени переходного р е жима и анализ путей его уменьшения. В переходном режиме могут изменят ь ся с течением времени состав пара (конденсата), сплава в тигле, подаваемого м а териала, скорость испарения и подачи компонентов, температура испар е ния и объем ра с плава в тигле. Для ориентировочной оценки времени переходного режима авторы [160] предлагают формулу: , сек (1.13) где – плотность сплава в испарителе; и – весовые проценты компонентов в покрытии и в испаряемом сплаве при стационарном р е жиме. Начальная концентрация компонентов в испарителе принята равной нео б ходимой концентрации их в покрытии. Расчеты для сплава 80% Ni – 20% Cr показали, что стационарное с о стояние, которому соответствует содержание хрома в покрытии 37%, дост и гается за 48минут. В некоторых системах расчетное время достижения ст а ционарного режиме составляет несколько часов, что неприемлемо для пра к тики вакуумной металлизации. Эффективными методами сокращения врем е ни переходного режима являются правильный выбор начальной концентр а ции сплава в испарителе, повышение температуры и площади испарения, уменьшение объема испар и теля. Методика расчета стационарного режима испарения может быть ра с пространена на случай нескольких компонентов, если не образуются инте р металлические соединения, приводящие к отклонению от закона Рауля. П о становка задачи для испарения многокомпонентной системы достаточно сложна [138]. Некоторые методические приемы решения п о добных задач для испарителей непрерывного действия приведены в работах [3, 138]. Стаци о нарное состояние зависит от геометрии испарения [3], а также от соотнош е ния скоростей испарения и подачи в расплав одного из компонентов (как правило легирующего [138]). При непрерывном восполнении утечки вещ е ства для обеспечения стационарного состояния необходимо использовать т и гель с изменяющейся площадью поверхности испарения (расширяющийся сверху конусный тигель). Стационарный режим устанавливается также в тех случаях, когда ск о рость подачи легирующего компоненте в расплав меньше скорости испарения со всей испаряющейся поверхности расплава [138]. В противном случае, наблюдается неограниченное возрастание примеси в ра с плаве, вследствие чего, начиная с некоторого момента времени систему необходимо рассматривать как сплав. Авторы [8] выполнили теоретический анализ закономерностей кинет и ки испарения и конденсации двойных систем в стационарном режиме. По д ход аналогичен работе [157], однако представляет определенный интерес в ы вод формулы для времени переходного режима. В кач е стве критерия оценки выхода режима испарения на стационарный предлагается брать не заданную концентрацию покрытия, как это сделали авторы [160], а допустимое относ и тельное отклонение состава конденсата от заданного. Формула в этом сл у чае имеет вид: . (1.14) Здесь с 0 – исходная концентрация одного из компонентов в распл а ве; – концентрация этого же компонента в конденсате при t =0; – конце н трация компонента в конденсате при . Общая схема расчетов, прив е денная в работе [8], была использована для расчета стаци о нарного режима испарения сплава Fe - Cr . Экспериментальная проверка показала соответствие расчетных и опы т ных данных. Метод стационарного испарения имеет большие перспективы при нанесении покрытий из сплавов на непрерывно движущуюся полосовую сталь, пленку и другие рулонные материалы. Преимуществом метода являе т ся то, что различие в термодинамических свойствах компонентов не играет существенной роли. Кроме того, имеется возможность испарять сплавы дл и тельное время и получать покрытия строго определе н ного состава по толине. Есть у метода стационарного испарения и нер е шенные проблемы. В научном плане задача решена только для бинарных систем в предположении, что в ы полняется закон Рауля. Решение задачи в общем случае отсутствует; имеется только одна попытка обобщить один из типов ст а ционарного испарения на n компонентов [157] . В техническом плане можно выделить две основные з а дачи, от успешного разрешения которых зависит широкое использование м е тода в промышленности. Первая задача – создание долгодействующих исп а ряющих систем и средств контроля и регулировки стабильности режима и с парения, вто рая – стабилизация температурного режима нанесения п о крытий в установках непрерывного или полунепрерывного действия и техническое решение охлаждения вакуумных камер. Судя по литературе, в настоящее время этим задачам практически внимание не уделяется. Некоторые ко н кретные примеры применения метода стаци о нарного испарения обсуждаются в работах [54, 60, 125, 135], теоретические вар и анты решения типовых задач обобщены и систематизированы нами в обзоре [90, 92]. 5. Некоторые электрофизические и физико-химические характер и ст и ки многокомпонентных конденсированных структур Направлением настоящего исследования является выбор опт и мальных составов многокомпонентных структур на базе комплексного изучения и анализа наиболее характерных их параметров – электрических, электрофиз и ческих, коррозионно-электрохимических, механич е ских и т.д. В литературе отсутствуют сведения о системном подходе к решению этой проблемы, о д нако имеется достаточно обширная инфо р мация о конкретных параметрах конденсированных структур, в частности, об электроф и зических свойствах. Выбор легирующих добавок к сплавам меди определяется, как правило [60, 150], требованиями, предъявляемыми к эксплуат а ционным параметрам. Нами сделана попытка обобщить некоторые наиболее характерные подходы к р е шению проблемы выбора оптимальных составов многокомпонентных стру к тур для конкретных изделий [92]. Авт о ры [16, 58, 150] изучали влияние Mn , Ni , Al , Ti и Pb в различных комбинациях и весовых соотношениях на эле к трические свойства многокомпонентных пленок на основе меди. Также сд е лана попытка оценить влияние каждого компонента сплава на удельное с о противление и термический коэффициент полученной пле н ки. Образцы для исследований получали на лабораторной установке при давлении остаточных газов в вакуумной камере 10 -2 Па. В качестве подложек использовались с и талловые пластинки 8 60мм. Осаждение пленок проводилось на предвар и тельно разогретую поверхность, темпер а тура подложки составляла 300-350 С. Толщина покрытий – 1,0-1,5 мкм. Для исключения влияния неточн о сти измерения толщины пленки на значения электрических параметров ра с считывалось произведение , где – плотность конденсата, – удельное с о противление. Определение ТКС пленок исследуемых сплавов осуществл я лось в диапазоне темпер а тур 20-100 и 20-200 С. Из табл.1.2 видно, что удельное сопротивление пленок оловосодерж а щих сплавов выше, чем у безоловянных, в то время как ТКС существенно ниже. Сравнение групп сплавов 5-13-15, 1-17, 8-16 и 3-6-14 показывает, что наличие олова в исходной навеске приводит к более сильному влиянию лег и рующих добавок на удельное сопротивление конденсата. Так, в сплаве 5 прирост за счет Ni и Cr в присутствии олова составляет 12,8мкОм см, в спл а ве 13 за счет тех же легирующих добавок – 4,4 мкОм см, а в сплаве 15-2,8мкОм см. Введение в медно-оловянные сплавы Ni, Cr и Ве сопровождае т ся образо в а нием соединений выбранных металлов не только с медью, но и с оловом. В озможно о б разование и тройных интерметаллических соединений. Это приводит к фо р мированию качественно новой решетки, отличной от двухфазной системы Cu - Sn и безоловянных систем, и способствует дополнительному росту удельного сопротивления. Однако при сопоставлении электрофизических свойств многокомпонентных пленок [58, 99] массивных сплавов и конденс а тов было обнаружено, что правило Матиссона спл спл = мет мет для конде н сатов этих же сплавов не выполняется из-за особенностей процесса форм и рования. Выпо л нение правила Матиссона отмечено только для сплавов Cu - Sn при содержании Sn в исходной навеске 8-12% и более 60 %. Введение н и келя в медно-оловянный сплав способствует выравниванию параметра в широком диапазоне ко н центраций олова. В работе [58] изучены электрофизические свойства пленок, получе н ных вакуумным испарением сплавов Cu - Sn и сплавов этой же системы с д о бавлением Ni, Cо, А l . Расчеты режимов испарения конечных н а весок Cu - Sn и их аналогов, выполненные по методике работы [140], показывают, что с и стема Cu - Sn испаряется в вакууме без значительного фракционирования, особенно при температуре испарения выше 1500-1700 С. Это способствует формированию идентичных по составу и свойствам слоев на различных ст а диях испарения навески и создает предпосылки для промышленного испол ь зования сплава в установках пери о дического действия. Легирующие добавки не оказывают существенного вли я ния на характер испарения сплава Cu - Sn . Анализ влияния состава медно-оловянных сплавов и легирующих добавок на удельное сопротивление пленок показал [58, 106], что общей закономерн о стью является немонотонный ход кривых = f (% Sn ): в диапазоне 38-42% Sn имеет место максимум удельного с о противления. Характерно, что добавки Ni и Cо не меняют положения максимума кривых по оси абсцисс и имеет м е сто соответствие между массивными сплавами системы Cu - Sn и изуча е мыми конденсатами. Добавки А l , наоборот, приводят к сдвигу максим у ма кривой = f (% Sn ) в область низких концентраций олова. При соде р жании А l 1-3 вес % общий характер зависимости = f (% Sn ) ос тается без измен е ний. В работе [106] проведены исследования пленок сплавов олово - медь, получаемых методом испарения в вакууме, с целью замены серебра в слаб о точных скользящих контактах. Сравнение зависимостей = f (% Sn ) пл е нок и контактного сопротивления R к = f (% Sn ) пленок Сu- S n в паре с ник е левыми сферическими контактами показывает, что имеет место определенная корр е ляция между удельными и контактным сопротивлениями. Максимум ко н тактного сопротивления совпадает с наибольшими значениями удельного с о противления. При этом для пленок составов 38-48 % Sn характерны пов ы шенная хрупкость и склонность к растрескиванию при незначительных нагрузках. Детальные исследования влияния структуры и состава конденсирова н ных слоев на электрические свойства пленок сплавов меди выполненных В.И. Поповым [119, 120], показывают, что легирование меди марганцем, алюминием, титаном и палладием увеличивает удельное сопротивление ма с сивного сплава, не оказывая существенного влияния на удельное сопроти в ление пленок. Заслуживает внимание тот факт, что размеры зерна пленки, определяющие ее электрические свойства, вес ь ма чувствительны к физико-механическим свойствам легирующих эл е ментов. Наиболее сильное влияние оказывают элементы, имеющие неограниченную раствор и мость в меди: Al , Mn , Ti . Анализ данных по удельному сопротивлению тонких пленок, пол у ченные В.И. Поповым в работе [113], и сравнение с закономерностями фо р мирования структуры конденсатов показывают, что введение легирующих добавок в медь сопровождается измел ь чением зерна и ослаблением влияния толщины пленки на удельное сопротивление и рельеф поверхности. Некот о рые отличительные особенности в электрических параметрах пленок обн а ружены при испарении сплавов Cu - Mn - Ni -Т i , содержащих 1,45-2,10% Mn ; 3,9-5,9% Ni ; 0,02-0,09% Т i [119]. Пленки имеют удельное сопротивление в 1,5-2,0 раза выше, чем удельное сопр о тивление чистого медного конденсата. В случае неполного испарения навески сплавов данных составов пленки отличается от медных конденсатов в 8-12 раз. Для пленок, полученных и с парением сплавов Cu - Mn -Со и Cu - Mn - Pd -Т i , существенных отклонений эле к трических параметров от чистых медных конденсатов не наблюдае т ся. Одной из фундаментальных работ, посвященных исследованию эле к трофизических свойств пленок различных сплавов на основе меди, примен я емых в электронной технике, является статья [18], в которой дана наиболее полная информация об электрических параметрах конденсирова н ных систем. В качестве легирующих добавок использованы Mn , Ni , Со, Pd , Т i , Те, Al , Cr , Mg , Y . Установлено, что легирование меди марганцем увеличивает на 50%, марганцем и палладием – на 60%, алюминием – на 20%. Наименьшее вли я ние оказывает теллур: введение 0,48% Те снижает электропроводность меди всего на 4%. Следует отметить, что в ряде случаев электропроводность пл е нок выше, чем исхо д ных массивных сплавов. Анализ данных работы [58] позволил определить одно из напра в лений настоящего исследования, а именно: изучение некоторых эле к трофизических характеристик пленок сплавов меди (раздел 5) и проведение сопоставител ь ного анализа с физико-химическими характеристиками ко н денсатов (разделы 3 и 4 настоящей работы). Что касается физико-химических характеристик конденсированных структур, а также их влияние на основные эксплуатационные и электрич е ские параметры, то подобных сведений в литературе крайне мало. Можно лишь выделить работу [60], в которой обобщены результ а ты исследования влияния сплава контактных площадок резисторов т и па СПЗ на стабильность R min во влажной камере (влажность 98%, температура 35 С, =21сут . ), при испытаниях на износостойкость (10000 циклов с металл и ческими контактами и 25000 с графитовыми щетками) и в условиях смены температур (от – 70 С до +40 С). Материалы ко н тактных площадок – сплавы меди. Статистическая обработка результатов измерений (на каждый состав покрытия и вид испыт а ний – 40-60 образцов) позволяет сделать следующие выводы. В условиях смены темп е ратур максимальные изменения R min не превышают 0,96Ом при допускаемом отклонении 35Ом; изменения характерны для всех систем и остатков. Наилучшую влагостойкость (табл. 1.2) показали пленки сплавов Cu - Sn (60-62% Sn ) и Cu - Sn -Со (10-12% Sn ; 0,5-1,5% Со). Сплав Cu - Sn - Ni (60-62% Sn ; 1,0 % Ni ) близок по характеристикам к первым двум сплавам, но имеет несколько пониженную стойкость в паре с графитовой щеткой. Спл а вы Cu - Sn с содержанием олова 10-12 % по максимал ь ному значению близки к указанным, однако имеют более низкую воспроизводимость резул ь татов по . Дисперсия первых трех спл а вов 0,005-0,05 Ом 2 , последнего 25,4-30,6 Ом 2 . Таблица 2 Влаго- и износостойкость переменных резисторов с контактными площа д ками из сплавов Cu - Sn и их аналогов Н о мер спл а ва Массовый состав п о крытия, % (о с тальное медь) R , Ом Износостойкость (графит 25000 циклов) R , Ом Нейзил ь бер Бронза безол о вянная Графит 1 20-24 Sn 0,67 0,59 16,1 7,4 2 37-40 Sn 0,62 0,61 25,2 1,4 3 42-45 Sn 7,4 1,47 13,5 1,8 4 60-62 Sn -0,10 -0,13 0,73 0,8 5 42-44 Sn; 1,0 Ni 17,9 54,5 13,0 8,5 6 10-12 Sn ; 0,5-1,5 Со 0,6 0,27 1,7 0,8 7 42-43 Sn ; 0,5-1,5 Со 43,0 65,0 33,0 6,6 Испытания и износостойкость показали, что все исследованные сплавы удовлетворяют типовым требованиям, за исключением сплавов Cu - Sn - Ni (38-42 % Sn ; 0,5-1,5 % Ni ) и Cu - Sn -Со (40-45 % Sn ; 0,5-1,0 % Со). Сво д ные данные типовых испытаний резисторов с контактными покрытиями из спл а вов Cu - Sn и аналогов приведены в табл. 1.2 откуда видно, что наилучшие х а рактеристики имеют сплавы 4 и 6. Сплав Cu - Sn (60-62 % Sn ) более предп о чтителен с точки зрения технологичности; в производственных условиях проще использовать б и нарные сплавы. 6. Общие выводы по обзору и постановка задачи исследования Обобщая ретроспективный обзор науч ной, технической и патентной лите ратуры (пп.1.1-1.5, [90, 91, 190]) по опыту использования многокомп о нентных конденсированных структур, а также используя результаты фунд а ментальных исследований в области получения разли ч ных конденсационных покрытий [27, 54, 60, 124, 125, 135, 142], можно предложить достаточно наглядную классификацию всех существующих и принципиально возмо ж ных методов получения многокомпонентных конденсационных структур (рис.1.1). Основываясь на результатах работ [54, 60, 135], объектом исслед о вания в настоящей работе были слабо фракционирующие системы Cu - Sn , Cu - Sn - Al и Cu - Sn - Ni , получаемые прямым испарением сплавов в вакууме с п о следующей конденсацией как на неподвижных, так и на вращающиеся по д ложки. Выбор этих систем обусловлен перспективностью их применения взамен благородных металлов в некоторых изделиях электронной техники [38], простотой реализации процесса в условиях крупносерийного произво д ства с использованием недорогого оборудов а ния [54, 135]. Несмотря на значительные успехи в области разработки технологии получения различных покрытий и функциональных многокомпонентных структур, существует ряд задач, тормозящих широкое внедрение этих техн о логий в производство. Типичная схема научных исследований и технолог и ческих операций, предшествующих промышленной апробации техн о логий, приведена на рис.1.2. – концентрационные зависимости электропараметров свеженапыле н ных пленок и (частично) после температурных воздействий и т.д. Однако, вопросы влияния условий эксплуатации на характер измер е ния электропараметров функциональных конденсированных структур, закон о мерности физико-химического взаимодействия пленок с агрессивными ко м понента ми окружающей среды в литературе практически не рассматриваю т ся. В то же время, если эксплуатация изделий предусматривается без допо л нительной защиты от воздействия окружающей среды, да н ные о физико-химических свойствах конденсатов, о влиянии внешних условий на стабил ь ность эксплуатационных характеристик пленочных элементов устройств ст а новятся едва ли не определяющими при выдаче окончательных рекоменд а ций по технологии п о лучения функциональных конденсированных структур с учетом возможных усл о вий их эксплуатации. В этой связи в рамках настоящего исследования нами были п о ставлены следующие задачи: – теоретически проанализировать закономерности испарения и конде н сации тройных металлических систем; – разработать методики изучения и оценки изменения электропараме т ров конденсатов при различных внешних воздействиях; – изучить закономерности физико-химического поведения конденсир о ванных структур в некоторых жидких средах, определить и табулировать о с новные параметры процесса электрохимической коррозии как функции с о става конденсата; – изучить изменение электропараметров пленок в модельных и реал ь ных условиях эксплуатации; – разработать методику оптимизации состава конденсата по ра з личным критериям. Решение этих задач отражено в пункте 2.5 настоящей работы. Выводы 1. Анализ экспериментальных и теоретических исследований в обла с ти техники получения функциональных покрытий показывает, что ряд сплавов на основе меди могут быть успешно применены в некоторых изделиях эле к тронной техники взамен аналогичных исполнительных элементов из благ о родных металлов. 2. Существующие методы теоретического анализа закономерностей испарения и конденсации многокомпонентных систем в вакууме (испарение конечных навесок, стационарный режим испарения, взры в ное испарение и т.д.) ра з работаны, как правило, для двухкомпонентных систем. В этой связи, поставлена задача , разработать методику полуколичественного анализа зак о номерностей формирования покрытий с числом компонентов более двух. 3. Обзор научной и научно-практической литературы показал, что да н ные о физико-химических свойствах конденсированных структур и их вза и мосвязи с основными эксплуатационными параметрами в литературе практ и чески отсутствуют; это затрудняет выбор и оптимизацию технологических параметров н а несения конденсированных структур с заданными свойствами. Поставлена задача на основании комплексных физико-химических исслед о ваний разработать научно обоснованные подходы к выбору конкретных мн о гокомпонентных систем с требуемыми функци о нально-эксплуатационными параметрами. список использованной литературы 1. Адгезия и пористость медных ионных покрытий на стали / И.Л. Ройх, О.В. Лебединский, А.И. Костржицкий, С.А. Приббе // Вакуумная м е таллизация в нар. хоз-ве: Тез. докл. II Межресп. науч.-техн. конф. – Рига, 1977. – С. 51-52. 2. Алешкин А.А. О возможности получения двухкомпонентных пленок металлов заданного состава испарением из сплава / А.А. Алешкин, Н.Н. Раров // Физика и химия обраб. материалов. – 1970. – № 4. – С.43-48. 3. Апаев Б.А. Динамика масс в испарителе непрерывного де й ствия / Б.А. Апаев, С.А. Пиковский, Ф.В. Урьяш // Изв. вузов. Радиоте х ника. – 1971. – ХIV. – С.1778-1780. 4. Аржаникова И.Н. Влияние режимов испарения и конденс а ции на состав и структуру пленок сплавов Cu - Mn - Ni / И.Н. Аржаникова, З.В. Кичк и на, В.Н. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1978. – Вып. I. – С.3-7. 5. А.С. 269226. Сплав для изготовления микросхем / А.С. Косе н ков, Г.И. Павленко, В.П. Попов. – Опубл. в Б.И. 1970, №15, Н 05 к 7/00. 6. А.С. 434484. Токопроводящий материал / М.С. Блудов, А.А. Сл я гин. – Опубл. в Б.И., 1974, №24, Н 01 с 1/02. 7. А.С. 1522780. Способ очистки подложек / О.Н. Соловьева, А.И. Кост р жицкий, №4221821 / 24-21, заявл. 03.04.87; опубл. 1989. 8. Бадиленко Г.Ф. Закономерности кинетики испарения и конденс а ции двойных сплавов // Проблемы спец. электрометаллургии. – 1975. – №2. – С. 62-66. 9. Баранник В.П. К вопросу о том, как понимать и измерять корр о зию металлов / В.П. Баранник, В.В. Романов // Защита металлов. – 1982. – т.18, №2. – С. 309-314. 10. Башев В.Ф. Электрические свойства напыленных пленок Al - Cu / В.Ф. Башев, Ф.Ф. Доценко, И.С. Мирошниченко // Физика металлов и мета л лов е дение. – 1990. – №11. – С. 201-202. 11. Белевский В.П. О некоторых особенностях формирования эле к трических свойств вакуумных конденсатов алюминия, никеля и з о лота / В.П. Белевский, М.В. Белоус, В.И. Недоступ // Физика и химия обраб. мат е риалов. – 1972. – №4. – С. 30-34. 12. Беренблит В.М. Коррозия и каталитическая активность сплавов Cu - Ni / В.М. Беренблит, Г.П. Павлова, И.Н. Половинина // Пассивность и корр о зия металлов. – 1971. – №3. – С. 54-56. 13. Бочкарев А.Б. Способ повышения стабильности тонкопл е ночных резисторов // Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоне н ты. – 1975. – Вып.6. – С. 42-45. 14. Бочкарева А.Я. Влияние температуры подложки на некоторые электрические характеристики резистивной пленки // Электронная техника. Сер. Р а диодетали и радиокомпоненты. – 1977. – №4. – С. 40-46. 15. Введенский А.В. Физико-химические и электрохимические а с пекты появления границ стойкости твердых растворов, содержащих благ о родный металл / А.В. Введенский, И.К. Маршаков // Конгр. Защита – 92: Расш. тез. докл. – М., 1992. – т.1, ч.1. – С. 52-54. 16. Вигдорович В.Н. Влияние легирующих элементов на электроф и зические свойства конденсированных пленок сплавов меди / В.Н. Вигдор о вич, В.И. Попов // Изв. АН СССР. Металл. – 1979. – №6. – С. 47-53. 17. Влияние легирующих элементов на свойства конденсатов, пол у ченных вакуумным напылением сплавов на основе меди / М.В. Б е лоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков и др. // Физика и химия обраб. м а териалов. – 1971. – №3. – С. 38-42. 18. Влияние легирующих элементов на электрофизические сво й ства пленок на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, Е.В. Лысова и др. // Физика и химия обраб. м а териалов. – 1975. – №5. – С. 136-138. 19. Влияние скорости движения среды на коррозию конденсатов Cu - Al в воде / А.Б. Яменко, В.Г. Гречанюк, Б.М. Емельянов и др. – К., 1990. – 14 с., ил. – Деп в УкрНИИНТИ 13.03.90. №487 – ММ90. 20. Влияние условий эксплуатации на электрофизические свойства вакуумных пленок сплавов на основе меди / И.Л. Ройх, А.И. Кост р жицкий, М.П. Кабанченко и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1979. – №12. – С. 13-16. 21. Горшков М.М. Эллипсометрия. – М.: Наука, 1974. – 368 с. 22. Гринченко В.Т. применение вакуумной плазменно-дуговой м е таллизации в производстве изделий электронной техники / В.Т. Гри н ченко, Г.Ф. Ивано в ский // Электронная пром-сть. – 1980. – №3. – С. 27-29. 23. Гуйван Э.И. Влияние легирующих элементов и условий напыл е ния металлических пленок на их адгезионные свойства / Э.И. Гуйван, В.И. П о пов // Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва. – 1971. – №8. – С. 59-66. 24. Гусев И.В. О воспроизводимости свойств пленок медных сплавов / И.В. Гусев, С.И. Сидоренко // Вестник Киевск. политехн. ин-та. Сер. Маш и ностроение. – 1979. – №16. – С. 35-38. 25. Данилин Б.С. Вакуумные методы получения тонкопленочных элементов интегральных схем (состояние и перспективы развития) // Эле к тронная техника. Сер. Микроэлектроника. – 1972. – №3. – С. 75-82. 26. Даркен Л.С. Физическая химия металлов / Л.С. Даркен, Р.В. Гу р ри. – М.: Металлургиздат, 1960. – 582 с. 27. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. – М.: Мир, 1964. – 716 с. 28. Ермолаев Л.А. Пленочные резисторы и их параметры / Л.А. Е р молаев, А.И. Мочалов, Ю.Д. Чистяков // Сб. науч. тр. по проблемам микр о электроники. – 1972. – №11. – С. 144-160. 29. Закономерности формирования структуры и свойств пленок, п о лученных вакуумным напылением сплавов на основе меди / А.И. К о рольков, Е.В. Лысова, Г.И. Павленко, В.И. Попов // Физика и химия обраб. матери а лов. – 1973. – №3. – С. 58-62. 30. Испарение сплавов на медной основе в вакууме / Д.И. Лайнер, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова, М.И. Цыпкин // Сб. науч. тр. Гипр о цветм е тобработка. Вып. 42. – М., 1974. – С. 105-112. 31. Использование сплавов меди для вакуумного напыления плено ч ных элементов микросхем с высокой проводимостью / А.М. Белоус, А.М. Косенков, Е.В. Лысова и др. // Электронная техника. Сер. Мат е риалы. – 1972. – №1. – С. 14-19. 32. Использование сплавов на основе меди для вакуумного напыл е ния пленочных элементов микросхем с высокой проводимостью / М.В. Бел о ус, А.М. Корольков, А.С. Косенков // Электронная техника. Сер. Матери а лы. – 1972. – №2. – С. 14-17. 33. Исследование анодных оксидных пленок на Cu - Ni сплавах / А.Н. Ка м кин, А.Д. Давыдов, Цзу-Гу Дин, В.А. Маричев // Электрохимия. – 1999. – т.35, №5. – С. 587-597. 34. Исследование формирования структуры пленок, полученных и с парением в вакууме сплавов медь-никель-марганец / М.В. Белоус, Н.Р. Бо ч вар, Е.В. Лысова и др. // Физика и химия обраб. материалов. – 1975. – №6. – С. 66-68. 35. Исследование физико-механических и коррозионных свойств сплавов на основе меди и никеля / С.Д. Пидгайчук, В.И. Григорьев, А.Ф. С и дел ь ник, В.Ф. Цуркан // Физико-хим. механика материалов. – 1993. – т.29. – С. 127-128. 36. Кабанченко М.П. Влияние легирующих добавок, полученных и с парением конечных навесок сплавов на основе меди / М.П. Кабанче н ко, А.И. Костржицкий, Г.М. Иванов // Электронная техника. Сер. Мат е риалы. – 1981. – №6. – С. 3-6. 37. Кабанченко М.П. Исследование износоустойчивости ко н тактных площадок переменных непроволочных резисторов // М.П. К а банченко, Л.П. Кошкина, А.И. Костржицкий // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1982. – №7. – С. 70-72. 38. Кабанченко М.П. Исследование технологии нанесения и свойств функциональных покрытий из сплавов на основе меди взамен серебрения: Авт о реф. дис. ... канд. техн. наук. – М.: МИЭТ, 1984. – 23 с. 39. Кабанченко М.П. Научные и практические аспекты получения термостабильных проводящих покрытий // М.П. Кабанченко, А.И. Кост р жицкий // Материалы Межд. конф. по электронно-лучевым техн о логиям. – Варна (НРБ), 1990. – С. 581-586. 40. Кабанченко М.П. Оптимизация процессов получения пленок с равномерным распределением по толщине на вращающихся подложках / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // Физика и технология тонких пол у прово д никовых пленок: Тез. докл. III Всесоюз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 153. 41. Кабанченко М.П. О стабильности параметров переменных рез и сторов при длительном хранении / М.П. Кабанченко, Т.В. Кириллова, А.И. К о стржицкий. – Деп. в ЦНИИ Электроника 1982, №8095/82. – 24 с. / опубл. в МСР ВИМИ “Техника, технология, экономика”. – 1982. – №12. Серия Т”. 42. Кабанченко М.П. Получение многокомпонентных токопровод я щих покрытий методом испарения конечных навесок в вакууме / М.П. К а банченко, А.И. Костржицкий, И.Л. Ройх // Электронная техника. Сер. Мат е риалы. – 1979. – Вып.6. – С. 117-124. 43. Кабанченко М.П. Применение вакуумных пленок сплавов на о с нове меди в электрических контактах / М.П. Кабанченко, Я.И. Лепих, А.И. Костржи ц кий // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1980. – №2. – С. 58-62. 44. Клебанов Ю.Д. Кинетика испарения сплава из одного исто ч ника с по д питкой / Физика и химия обраб. материалов. – 1978. – №4. – С. 64-69. 45. Клебанов Ю.Д. О кинетике испарения сплавов в вакууме / Ю.Д. Клебанов, Т.В. Привезенцева, В.Н. Сумароков // Физика и химия обраб. м а тери а лов. – 1977. – №3. – С. 50-54. 46. Коган В.С. Структура и электрические сопротивления конденс а тов хрома, полученных в различных вакуумных условиях / В.С. Коган, Ю.Е. Семененко, А.П. Серюгин // Вопросы атомной науки и те х ники. Сер. Физика и те х ника высокого вакуума. – 1974. – №1. – С. 56-62. 47. Колкер Я.Д. Математический анализ точности механической о б работки д е талей. – К.: Техника, 1976. – 200 с. с илл. 48. Колотыркин Я.М. Фундаментальные проблемы коррозии и пути их р е шения. – В кн.: 12-й Менделеевский съезд по общей и прикл. химии”: реф. докл. и сообщ. – М.: Наука, 1981. – №3. – С. 276-277. 49. Коррозионная стойкость электроконтактных материалов на осн о ве меди в агрессивных средах / Г.Н. Братерская, В.А. Лавренко, С.П. Кох а новский, В.В. Коробский // Физико-хим. механика материалов. – 1993. – т.29, №2. – С. 56-60. 50. Коррозия: Справочник / Под ред. Л.Л. Шрайера; пер. с англ. под ред. В.С. Синявского. – М.: Металлургия, 1981. – 632 с. 51. Костржицкий А.И. Исследование медных и медно-цинковых в а куумных покрытий на стали: Автореф. дис... канд. техн. наук. – М.: МВМИ, 1978. – 28 с. 52. Костржицкий А.И. К вопросу о математическом моделиров а нии процессов получения многокомпонентных конденсированных систем // Ф и зика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III-й Вс е союз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 31. 53. Костржицкий А.И. Проблемы и перспективы применения мног о компонентных пленок в изделиях электронной техники // Физика и технол о гия тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III-й Всес о юз. конф. – Ив.-Франковск, 1990. – С. 12. 54. Костржицкий А.И. Способы получения и свойства корроз и онно-стойких вакуумных многокомпонентных пленок и покрытий: А в тореф. дис... докт. техн. наук. – М.: НИФХИ им. Л.Я. Карпова, 1988. – 37 с. 55. Костржицкий А.И. Формирование многокомпонентных вакуу м ных покрытий в установках барабанного типа при раздельном испарении компоне н тов // Физика и химия обраб. материалов. – 1987. – №1. – С. 99-103. 56. Костржицкий А.И. Закономерности формирования структуры железохромистых покрытий при ионном осаждении / А.И. Костржицкий, О.Ф. Гус а рева // Изв. АН СССР. Сер. Металлы. – 1987. – №1. – С. 167-172. 57. Костржицкий А.И. Моделирование процесса формирования в а куумных пленок и покрытий на вращающихся подложках // А.И. Костржи ц кий, М.П. Кабанченко // Технология и конструирование электронной аппар а туры. – 1992. – №1. – С. 65. 58. Костржицкий А.И. Электрофизические свойства пленок, пол у ченных вакуумным испарением сплавов медь-олово и их аналогов // А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко // Электронная техника. Сер. М а териалы. – 1980. – Вып.7. – С. 3-7. 59. Костржицкий А.И. Анализ равномерности толщины покрытий при конденсации на плоских вращающихся подложках / А.И. Кос т ржицкий, М.П. Кабанченко, Г.М. Редунов. – Киев, УкрНИИНТИ, 1989, №1644 – Ук89. – 38 с. 60. Костржицкий А.И. Многокомпонентные вакуумные покрытия / А.И. К о стржицкий, О.В. Лебединский. – М.: Машиностроение, 1987. – 208 с. 61. Костржицкий А.И. Электрохимическое поведение покрытий, п о луче н ных методом ионного осаждения в вакууме / А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский, И.Л. Ройх // Защита металлов. – 1979. – №3. – С. 343-345. 62. Костржицкий А.И. Проблемы использования сплавов меди вз а мен благородных металлов в тонкопленочных изделиях электронной те х ники / А.И. Костржицкий, Я.И. Лепих // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1981. – Вып.2. – С. 90-96. 63. Костржицкий А.И. Исследование вакуумных пленок сплавов на основе меди в системе “пленка – скользящий контакт” / А.И. Кост р жицкий, Я.И. Лепих, Ю.П. Тризна // Техника средств связи. Сер. ТПО. – 1980. – №3. – С. 53-57. 64. Костржицкий А.И. Влияние состава сплавов меди на коррозио н ную стойкость конденсированных систем / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // ОДАХТ. Наукові праці. Вып.25. – Одесса, 2003. – С. 206-212. 65. Костржицкий А.И. Закономерности формирования структуры и фазового состава в конденсированных системах медь-олово и их аналогах / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Электронная обраб. мат е риалов. – 2004. – №5. – С. 13-15. 66. Костржицкий А.И. Исследование поверхностных пленок на ме д но-оловянных конденсатах в различных условиях эксплуатации / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Электронная обраб. материалов. – 2003. – №5. – С. 22-26. 67. Костржицкий А.И. Коррозионно-электрохимические свойства конденсированных пленок сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Физико-хим. механика материалов. – 2004. – №4. – С. 665-669. 68. Костржицький А.І. Особливості електродних процесів на повер х ні конденсатів мідь-олово та їх аналогів у нейтральних середовищах / А.І. Костржицький, О.В. Ляпіна // Фізика і хімія твердого тіла. – 2004. – т.5, №3. – С.564-571. 69. Костржицкий А.И. Проблемы и перспективы использования то н копленочных структур из малолегированных сплавов меди / А.И. Костржи ц кий, Е.В. Ляпина // Матеріали IХ Межн. конф. “Фізика і технологія то н ких плівок”. – Ів.-Франківськ, 2003. – т.2. – С. 219-220. 70. Костржицкий А.И. Электрохимические свойства пленок сплавов высокой проводимости / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // М а териалы III-й Межд. науч.-практ. конф. “Динамика науч. исслед.” – Днепропетровск, 2004. – т.63. – С. 2 4 -2 5 . 71. Костржицкий А.И. Коррозионно-стойкие конденсированные пленки сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // М а териалы 23-й ежегод. межд. конф. “Композиционные материалы в пром-сти”. – Ялта, 2003. – С. 60-61. 72. Костржицкий А.И. Коррозионно-электрохимическое поведение конде н сированных сплавов на основе меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // ОДАХТ. Наукові праці. Вип.26. – Одеса, 2003. – С. 261-269. 73. Костржицкий А.И. Об опыте использования конденсированных пленок сплавов высокой проводимости взамен благородных мета л лов / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // Материалы IV ежегод. Пром. конф. “Эффективность реализации науч., ресурсного и пром. потенциала в совр е менных условиях”. – Славское, 2004. – С. 74-75. 74. Костржицкий А.И. Автоматизированный анализ закономе р ностей испарения и конденсации двойных металлических систем / А.И. Костржи ц кий, Г.М. Редунов. – К., 1985. – 22 с. – Деп. в УкрНИИНТИ 25.06.85, №1409. – ММ 85. 75. Костржицкий А.И. Автоматизированный анализ закономе р ностей фо р мирования вакуумных покрытий из бинарных сплавов при раздельном исп а рении компонентов / А.И. Костржицкий, Г.М. Редунов. – К., 1986. – 37 с. – Деп. в УкрНИИНТИ 06.08.86, №1849 – ММ 86. 76. Костржицкий А.И. Алгоритмическое и программное обесп е чение анализа, закономерностей испарения и конденсации сплавов с числом ко м понентов более двух / А.И. Костржицкий, Г.Н. Редунов, О.Н. С о ловьева. – К., 1985. – 29с. – Деп. в УкрНИИНТИ 24.06.85, №1408 – ММ 85. 77. Костржицкий А.И. Методы испытания металлов и металл и ческих покрытий на коррозионную стойкость / А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов, М.П. Кабанченко. – М., 1989. – 67с. Деп. в ЦНИИТЭИ тракто р сельмаш 1989, №1151 – ТС 89. Анот. опубл. в библиогр. справочнике – ВИНИТИ РАН “Д е понированные научные работы” 1989, №9. – С. 144. 78. Лайнер Д.И. Активность компонентов в жидких сплавах Cu - Al / Д.И. Лайнер, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова // Изв. АН СССР. Сер. Мета л лы. – 1976. – №1. – С. 15-18. 79. Лахтин Ю.М. Металловедение и термическая обработка мета л лов. – М.: Металлургия, 1977. – 364 с. 80. Лепих Я.И. Сплавы на основе меди взамен серебра в контактных площадках / Я.И. Лепих, М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // ЦНИИ Электроника, деп. №9779/ Реф. опубл. в “Сборник НИОКР обзоров, перев о дов и деп. рукописей”. Сер. РТ. – №21. – 1985. 81. Ляпина Е.В. Поведение конденсированных сплавов меди в ра с творе хлор и стого натрия с добавками Н 2 О 2 / ОДАХТ. Наукові праці. Вип.27. – Одеса, 2004. – С. 305-308. 82. Ляпина Е.В. До питання щодо вологостійкості конденсованих с и стем мідь-олово і їх аналогів / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія тве р дого тіла. – 2005. – т.6, №2. – С. 327-332. 83. Ляпина Е.В. Влияние состава сплавов меди на коррозионную стойкость конденсированных систем / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // ОДАХТ. Н а укові праці. Вип.25. – Одеса, 2003. – С. 206-212. 84. Ляпіна О.В. Вплив термообробки на електрофізичні властивості конденсованих плівок сполук міді / О.В. Ляпіна, А.І. Кост р жицький // Фізика і хімія твердого тіла. – 2005. – т.6, №3. – С. 423-427. 85. Ляпіна О.В. До питання про одержання функціональних конде н саційних покрить прямим випаровуванням сполук у вакуумі / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія тве р дого тіла. – 2005. – т.6, №1. – С. 161-164. 86. Ляпина Е.В. Коррозионно-электрохимические характеристики конденсированных пленок сплавов на основе меди / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // Современные проблемы материаловедения: Тез. докл. Откр. Вс е укр. конф. молодых учёных науч. сотр. – Харьков, 2003. – С. 30. 87. Ляпина Е.В. Особенности электрохимического поведения ко н денсированных пленок сплавов медь-олово в кислый средах / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // ОНАХТ. Н а укові праці. Вип.27. – Одеса, 2004. – С. 293-299. 88. Ляпіна О.В. Особливості електродних процесів на поверхні ко н денсатів мідь-олово та їх аналогів у нейтральних середовищах / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого т і ла. – 2004. – т.5, №3. – С.564-570. 89. Ляпина Е.В. Применение конденсированных пленок сплавов в ы сокой проводимости взамен благородных металлов / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // Материалы II Межд. науч.-практ. конф. “Динамика научных исследов а ний 2003”. – Днепропетровск, 2003. – т.36. – С. 39-40. 90. Ляпина Е.В. Технология получения и свойства пленок сплавов меди в электрических контактах / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. – К., 2004. – 24 с. – Деп. в ГНТБ Украины 05.01.04, №20 – ММ 04. 91. Ляпина Е.В. Функциональные конденсированные пленки из сплавов высокой проводимости и их свойства / Е.В. Ляпина, А.И. Костржи ц кий. – К., 2003. – 16с. – Деп. в ГНТБ Украины 01.09.03, №40. – ММ 03. 92. Ляпина Е.В. Физико-химические аспекты технологии конденс и рованных пленок сплавов высокой проводимости / Е.В. Ляпина, А.И. Кост р жицкий, В.Г. Задорожный // Материалы V юбил. Пром. конф. “Эффекти в ность реализации научн., ресурсного и пром. потенциала в современных услов и ях”. – Славское, 2005. – С.98-99. 93. Ляпина Е.В. К вопросу о влагостойкости конденсатов сплавов на основе меди / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий Р.А. // М а теріали Ювіл. Х Межн. конф. “Фізика і технологія тонких плівок”. – Ів.-Франківськ, 2005. – т.2. – С. 158-159. 94. Ляпина Е.В. Методика исследования электрических свойств то н копленочных конденсированных структур / Е.В. Ляпина, А.И. Кос т ржицкий, Р.А. Подолян // Материалы VII Міжн. наук.-практ. конф. “Наука і освіта”. – Дніпропетровськ, 2004. – т.61. – С. 3-5. 95. Ляпина Е.В. Особенности структуры и фазового состава конде н сированных структур медь-олово и их аналогов / Е.В. Ляпина, А.И. Кост р жицкий, А.Д. Соколов // Материалы V юбил. Пром. конф. “Эффе к тивность реализации науч., ресурсного и пром. потенциала в совреме н ных условиях. – Сла в ское, 2005. – С. 95-97. 96. Ляпина Е.В. Электрофизические свойства конденсационных пл е нок сплавов медь-олово в системе “пленка – скользящий контакт” / Е.В. Л я пина, А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов // Проблемы техники. – 2004. – №4. – С.22-28. 97. Ляпина Е.В. Анализ коррозионной стойкости сплавов Cu - Sn по данным потенциодинамических исследований / Е.В. Ляпина, Р.А. П о долян, А.И. Костржицкий // Материалы VII Межд. науч.-практ. конф. “Наука і освіта”. – Днепропетровск, 2004. – т.61. – С. 5-7. 98. Ляпина Е.В. К вопросу об оценке влияния состава конденсир о ванных пленок сплавов меди на их электрические свойства / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий // Материалы I Межд. науч.-практ. конф. “Науковий потенціал світу 2004”. – Днепропетровск, 2004. – т.61. – С. 21-23. 99. Майссел Л.И. Тонкопленочные резисторы. – В кн.: Технология тонких пленок. – М.: Сов. радио, 1977. – т.2. – 768с. 100. Методика исследования окисления металлов / Н.А. Шкл я ревский, Л.А. Агеев, В.П. Костюк, И.Л. Рачинский // Физика твердого тела. – 1968. – т.10, №9. – С.3097-3100. 101. Миркин Л.И. Рентгеноструктурный анализ. Справочное руково д ство. Получение и измерение рентгенограмм. – М.: Наука, 1976. – 284с. 102. Миркин Л.И. Справочник по рентгеноструктурному анализу п о ликристаллов. – М.: Госиздат физ.-мат. лит., 1961. – 360с. 103. Мовчан Б.А. Электроннолучевая плавка и рафинирование мета л лов и сплавов / Б.А. Мовчан, А.Г. Тихоновский, Ю.А. Куранов. – К.: Наукова думка, 1973. – 239с. 104. Некоторые закономерности формирования пленок алюминия и их электрические свойства / В.П. Белевский, В.И. Иванов, В.М. Недо с туп и др. // Ф и зика и химия обраб. материалов. – 1968. – №3. – С.104-109. 105. Об окислении вакуумных конденсатов сплавов на основе м е ди / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский, И.Л. Ройх // Мета л ловедение и термодинамическая обраб. металлов. – 1980. – №3. – С.34-36. 106. О возможности замены благородных металлов в некоторых изд е лиях электронной техники / А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко, Г.М. Ив а нов и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. – 1979. – №1. – С.3-6. 107. О свойствах проводящих элементов пленочных микросхем, пол у ченных напылением алюминия, никеля, меди и сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.С. Косенков, Г.И. Павленко и др. // Электронная техника. Сер. М а териалы. – 1971. – №1. – С.101-105. 108. Основы эллипсометрии / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. С е мененко и др. – Новосибирск: Наука, 1979. – 420с. 109. Особенности импульсных испарителей для напыления пленок / В.Г. Днепровский, Б.А. Осадин, Н.В. Русаков и др. // Электронная техника. Сер. Ми к роэлектроника. – 1972. – №3. – С.62-70. 110. Особенности испарения и формирования покрытий из сплавов олово – свинец // И.Л. Ройх, С.Н. Федосов, А.И. Костржицкий и др. // Эле к тронная те х ника. Сер. Материалы. – 1974. – №12. – С.15-18. 111. Особенности кинетики анодного растворения в хлористых ра с творах меди и золото-медных сплавов / А.Ш. Заядуллаев, А.Ж. Медведев, А.И. Маслий, Р.Ю. Бек // Физ. химия и электрохимия редк. и цв. мет.: Тез. докл. 7 кол. семин. / РАН Кол. науч. центр. – Апатиты, 1992. – С.42-43. 112. Особенности получения сплавов системы Cu - Al методом конде н сации в вакууме / Д.И. Лайнер, А.С. Бай, Л.М. Островская и др. // Сб. науч. тр. / Г и процветметобработка. Вып. 39. – М., 1973. – С.44-48. 113. Пазухин В.А. Разделение и рафинирование металлов в в а кууме / В.А. Пазухин, А.Я. Фишер. – М.: Металлургия, 1969. – 208с. 114. Палатник Л.С. К вопросу о механизме конденсации металлов в вакууме / Л.С. Палатник, Ю.Ф. Комник // Доклады АН СССР. – 1959. – т.124, №4. – С.808-811. 115. Палатник Л.С. Изучение закономерностей испарения сплавов / Л.С. Палатник, Г.Ф. Федоров, П.Н. Богатов // Физика металлов и металлов е дение. – 1966. – т.21, №3. – С. 409-413. 116. Палатник Л.С. Исследование процессов испарения и объемной конде н сации сплавов / Л.С. Палатник, Г.В. Федоров, П.Н. Богатов // Доклады АН СССР. – 1964. – т.158, №3. – С. 586-590. 117. Палатник Л.С. О характере испарения и конденсации сплавов олово – свинец / Л.С. Палатник, Г.В. Федоров, П.Н. Богатов // Физика мета л лов и м е талловедение. – 1966. – т.21, №5. – С. 704-709. 118. Палатник Л.С. Механизм образования и субструктура конденс и рованных пленок / Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич. – М.: Наука, 1972. – 320с. 119. Попов В.И. Закономерности формирования структуры и свойств пленок, полученных вакуумным испарением сплавов меди // Физика мета л лов и м е талловедение. – 1974. – №3. – С. 560-564. 120. Попов В.И. О связи рельефа поверхности пленок металлов и сплавов с их зернистой структурой // Физика и химия обраб. материалов. – 1975. – №1. – С.51-53. 121. Попов В.И. Фракционирующие сплавы на основе меди и техн о логия изготовления гибридно-пленочных микросхем // Электронная техн и ка. Сер. Микроэлектроника. – 1973. – №1. – С.72-75. 122. Ржанов А.В. Эллипсометрические методы контроля в микроэле к тронике / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко // Микр о электроника. – 1975. – т.4, №1. – С.3-23. 123. Розенфельд И.Л. Ускоренные методы коррозионных испытаний мета л лов / И.Л. Розенфельд, К.А. Жигалова. – М.: Машиностроение, 1966. – 220с. 124. Ройх И.Л. Защитные вакуумные покрытия на стали / И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова. – М.: Машиностроение, 1971. – 280с. 125. Ройх И.Л. Нанесение защитных покрытий в вакууме / И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова, С.Н. Федосов. – М.: Маш и ностроение, 1975. – 358с. 126. Ройх И.Л. Получение покрытий из сплавов в вакууме / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, С.Н. Федосов / Электронная техника. Сер. Те х нология и орг. пр-ва и оборуд. – 1975. – №6. – С.51-60. 127. Ройх И.Л. Применение метода испарения и конденсации в ваку у ме для получения новых защитно-декоративных покрытий из сплавов / И.Л. Ройх, С.Н. Федосов, А.И. Костржицкий // Материалы науч.-техн. сем и нара “Современные защитно-декор. покрытия металлов”. – М., 1974. – С.156-159. 128. Россинский В.А. Исследование процесса термического исп а рения в вакууме многокомпонентных сплавов / В.А. Россинский, Т.И. Самохвал о ва, Л.Т. Прокофьева // Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва. – 1971. – №2. – С.71-75. 129. Рыбин Б.С. Процессы диффузии и теплопроводности в вакуу м ных конденсатах / Б.С. Рыбин, И.Л. Ройх // Физика металлов и металловед е ние. – 1970. – т.30, №2. – С.276-280. 130. Соколов А.Д. Исследование адгезии и защитных свойств вакуу м ных хромовых покрытий на салумине, чугуне и стали: Автореф. дис... канд. техн. наук. – Одесса, 1974. – 26 с. 131. Соколов А.Д. Структура и защитные свойства ионно-плазменных покрытий из сплавов хрома на стали / А.Д. Соколов, А.И. Костржицкий // Материалы IХ Межд. коф. “Физика и технология то н ких пленок”. – Ив.-Франковск, 2003. – т.2. – С. 228-229. 132. Соловьева О.Н. Технология нанесения вакуумных пленок на н е подогр е ваемые подложки: Автореф. дис... канд. техн. наук. – Киев, 1987. – 24 с. 133. Соловьева О.Н. Адгезионное взаимодействие в системе “м е талл – окисел” при конденсации на неподогреваемые подложки / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий // Материалы IV науч.-техн. конф. “Вакуумные п о крытия – 87”. – Рига, 1987. – ч.II. – С.35-38. 134. Соловьева О.Н. Об адсорбционной и адгезионной активности п о верхности оксида, модифицированной в тлеющем разряде / О.Н. С о ловьева, А.И. К о стржицкий // Физика и химия обраб. материалов. – 1990. – №2. – С. 60-64. 135. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вак у уме / А.И. Костржицкий, В.Ф. Карпов, М.П. Кабанченко, О.Н. С о ловьева. – М.: М а шиностроение, 1991. – 174с. 136. Технология изготовления пассивных элементов микросхем с в ы сокой проводимостью путем вакуумного напыления сплавов на осн о ве меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков и др. // Электронная те х ника. Сер.10. – 1971. – №3. – С.18-24. 137. Толкачев С.С. Таблицы межплоскостных расстояний. – Л.: Х и мия, 1968. – 426с. 138. Урьяш Ф.В. Динамика примеси при испарении металлов в исп а рителе непрерывного действия // Электронная техника. Сер. Техн о логия, орг. пр-ва и оборуд. – 1973. – №6. – С. 9-12. 139. Физико-химические свойства тонких пленок, напыленных на н е металлическую основу. IV. Начальное сопротивление пленок алюминия / Л.К. Лепинь, В.М. Кадек, Ю.Н. Соколов и др. // Изв. АН Латв. ССР. Сер. Хим. – 1976. – №5. – С. 574-580. 140. Фракционирование бинарных сплавов при испарении из одного тигля / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, С.А. Приббе, С.Н. Федосов // Физика и химия обраб. материалов. – 1976. – №3. – С. 50-53. 141. Харинский А.П. Основы конструирования радиоаппаратуры. – М.: Эне р гия, 1971. – 358с. 142. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. – М.: Госэне р гоиздат, 1963. – 608с. 143. Чеботарева Н.П. Особенности коррозионного поведения меди в сульфатных средах, содержащих азотную кислоту / Н.П. Чеботарева, А.И. Маршаков, Ю.Н. Михайловский // Защита металлов. – 1993. – т.29, №6. – С. 900-905. 144. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. – М.: М а шиностроение, 1975. – 278с. 145. Чистяков Ю.Д. Физико-химические основы технологии микр о электр о ники / Ю.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. – М., 1980. – 386с. 146. Шишаков Н.А. Строение и механизм образования оксидных пл е нок на металлах / Н.А. Шишаков, В.В. Андреева, Н.К. Андрущенко. – М., 1959. – 322с. 147. Электрофизические параметры вакуумно-конденсированных р е зистивных элементов на основе некоторых сплавов системы медь – марганец – титан / Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова, В.И. Попов, А.А. Попова // Известия в у зов. Сер. Радиоэлектроника. – 1977. – т.20, №1. – С. 76-78. 148. Электрохимическое поведение конденсированных пленок спл а вов медь – олово в щелочных средах / А.И. Костржицкий, Е.В. Л я пина, Р.А. П о долян, А.Д. Соколов // Проблеми техніки. – 2004. – №1. – С.78-87. 149. Электрофизические свойства конденсатов некоторых сплавов медь – марганец – никель, полученных методами вакуумной технологии / Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова, В.И. Попов, А.А. Попова // Известия вузов. Сер. Физика. – 1976. деп. №2444-76. 150. Электрофизические свойства пленок, полученных вакуумным испарением сплавов системы медь – марганец / В.И. Попов, Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова и др. // Металловедение и термическая обраб. м е таллов. – 1976. – №7. – С.63-65. 151. Augis J.A. Sputter deposition of a metastable equiatomatic tin-nickel alloy / Augis J.A., Bennwet J.E. // Journ. electrochem. Soc. – 1977. – v.124, №9. – Р . 1455-1458. 152. Characterisation of passive film on copper / Sathiyanarayanan S., M a noharan S.P., rajagopal G., Balakrishnan K. // 6 th Int. Symp. Passivity: Passivat. Me t als and Semicond., Sapporo, 1989. – P.3-15. 153. Cnan E.C. Ellipsometric study of Ni-surfaces / Cnan E.C., Marton J.P. // J. Appl. Phys. – 1972. – v.43, №4. – Р .1681-1684. 154. Corrosion, passivation et protection du cuivre en solutions aqueuses T. M e canisme cyclique de la corrosion / Le Gal La Salle A., Jardy A., Rosset R. at all // Mem. et Etud. Sci. Rev. Met. – 1992. – v.89, №3. – P.171-182. 155. Crousier J. Behaviour of Cu-Ni alloys in natural sea water and NaCl solution / Crousier J., Beccaria A. / Werkst. und Korros. – 1990. – v.41, №4. – P.185-189. 156. Crousier J. Corrosion behaviour of a series of Cu-Ni binary alloys in slightly alkaline solution containing Cl – / Crousier J., Beccaria a. // 11 th Int. Corros. Congr. Innov. and Technol. Transfer Corros. Contr. – Florence, 1990. – v.4. – P.319-324. 157. Dale E.B. Theory of steady-state evaporation of alloys // Journ. Appl. Phys. – 1970. – №1. – P. 3697-3701. 158. Decany I. Failure mechanisms of electrical contacts surfaces / D e cany I., Kormany T. // "Proc. ATFA. 77, Los-Angeles, Calif., 1977", New York, N.Y., 1977. P.159-169. 159. Electrochemical behaviour of rapidly solidified and conventionally cast Cu-Ni-Sn alloys / Deyong L., Elboujdaini M., Themblay R., Ghali e. // Appl. Electr o chem. – 1990. – v.20, №5. – P. 756-762. 160. Foster J.S. Vacuum deposition of alloys: theoretical and practical c o siderations / Foster J.S., Pfeifer W.H. // Journ. Vac. Sci. technol. – 1972. – v.9, №6. – P. 1379-1384. 161. Hughes J.L., Making alloys foils by electron beam evaporation // Me t als Eng. Quaterly. – 1974. – v.14, №1. – P. 1-12. 162. Kostrjitskiy A.I. Electrochemical behaviour of low-doped copper a l loys films / Kostrjitskiy A.I., Lyapina E.V. // Proc. of 8-th Int. Symp. on Electr o chem i cal Methods in Corrosion Recearch. – Belgium, Brussel, 2004. – P. 284. 163. Kostrjitskiy A.I. The preparation and properties of thin copper alloys film / Kostrjitskiy A.I.. Lyapina E.V., Sokolov A.D. // Proc. Int. Conf. on Non-Crystalline Inorganic Materials “CONCIM-2003”. – Germany, Bonn, 2003. – P. 133. 164. Lewis C.W. Condensation and evaporation of solids / Lewis C.W., Schick M.I. // Rutner et al eds. – New York, 1962. – P. 131. 165. Long T.R. Palladium alloys for electrical contacts // Paper pr e sented at the annual Holm seminar "Platinum metal Rev". – 1976. – v.20, №2. P .46-47. 166. Lyapina E.V. Corrosion-electrochemical properties of copper a l loys in ne u tral solution / Lyapina E.V., Kostrjitskiy A.I., Tishchenko V.N. // Proc. of 8-th Int. Symp. on Electrochemical Methods in Corrosion Research.-Belgium, Brussel. – 2003. – P.285. 167. Mattsson Einar. Ammonia test for stress corrosion resistance of co p per alloys // Mattsson Einar, Holm Rolf, Hassel Lars // Use Synth. Environ. Co r ros. Test.: Symp. Teddington, 1986. – Philadelphia (Pa), 1988. – P. 152-164. 168. Milosev I. Kinetics and mechanism of Cu-Ni alloys corrosion in the presence of Cl ions / Milosev I., Metikos-Hukovic // 11 th Int. Corros. Congr.: I n nov. and Technol. Transfer Corros., Contr., Horence, 2-6 Apr., 1990. – v.3 / Assoc. Ital. Meet. – Milano, [1990]. – P. 523-530. 169. Mechanism of corrosion in Al-Si-Cu / Hayasaka Nobuo, Koga Yuri, Shim o mura Koji at all // Toshiba Selec. Pap. Sci. and Technol. – 1992. – v.4, №1. – P. 97-101. 170. Politicki A. Structure and electrical properties of thin film resistor m a terials / Politicki A., Heiber K. // Siemens Forshungs und Entwicklьgsber. – 1974. – v.3, №4. P. 248-254. 171. Popplewell J.M. Stress corrosion resistance of some base alloys in natural a t mospheres / Popplewell J.M., Gearing T.V. // Corrosion 5 (USA). – 1975. – v.31, №8. P .279-286. 172. Potentiodynamic behaviour of Cu-Al-Ag alloys i NaOH: A compar a tive study related to the pure metals electrochemistry / Benedetti A.V., Nakazato R.Z., Sumodjo P.T. at all // Electrochim acta. – 1991. – v.36, №9. – P.1409-1421. 173. Rogers B.R. Localized Corrosion of aluminum – 1,5% copper thin films e x posed to photoresist developing solutions / Rogers B.R., Wilson S.R., Cale T.S. // 37 th Nat. Symp. Amer. Vac. Soc., Toronto, 8-12 Oct., 1990 / Pt.2. J. Vac. Sci. and Technol. A. – 1991. – v.9, №3. – Pt.2. – P.1616-1621. 174. Santala T. Kinetics and thermodynamics in continiuos electron-beam evap o ration of binary alloys / Santala T., Adams C.M. // Journ. Vac. Sci. Technol. – 1970. – vol.7. – №6. – P. 522-529. 175. Sato Mitsonuri. Infpluence of oxides on material transfer beha v iour of silver base contacts, containing various metal oxides / Sato Mitsonuri, Hijikata Masayuki // Trans Jap Inst Metals, 1974 – v.15, №6. P.399-407. 176. Shibad P.R. Corrosion film formed on copper and copper base alloys in salt water / Shibad P.R., Singh P.R., Gadiyar H.S. // J. Electrochem. Soc. India. – 1989. – v.38, №3. – P. 306-309. 177. Scnults L.S. The optical properties of Ag, Au, Cu and Al // J. Opt. Appl... – 1954. – v.44, №5. – P. 357-359. 178. Som C.S. The range of applicability of the exact first order ellipsome t ric calculation / Som C.S., Choudnury C.N. / Nouv. Rev. Opt. Appl. – 1972. – № 2. – P. 389-394. 179. Sterling A. Accelerated atmospheric corrosion of copper and copper alloys / Ste r ling A., Atrens A., Smith T.O. // Brit. Corros. J. – 1990. – v.25, №4. – P. 271-278. 180. Swift R.A. Fractionation of Ni-Cr-Cu-Al alloys during vacuum evap o ration / Swift R.A. Noval B.A., Merz K.M. // Journ. Vac. Sci. Tec h nol. 2 . – 1968, vol. 5. – №3. – P .79-83. 181. The evaluation of the technology for depositing NiCr resistivity film / Tavses R., Kansky E. et al // Thin Solid Films. – 1976. – v.36, № 2. P.279-282. 182. Terada K.C. Vacuum deposition of tin-selenium film / Journ. Vac. Phys. D.: Appl. Phys. – 1974. – vol.4, № 12. – P.1991-1997. 183. Tseng P. Electrical resistivity of copper – 5 wt. % tin / Tseng P., Ta n gri K. // Scripta Me t allurgica, Pergamon Press. – 1976. – v.10, № 10. P .933-936. 184. Van de Leest R.E. Aluminium-implanted copper and sputtered copper alloys as electrical contact materials / Eur. Res. mater., Substitut. Proc. Final Contr. Meet., Brussels, 9-11 Dec., 1986. – London; New Yourk, 1988. – P. 125-132. 185. Wagner S. Activities in dilute solution of chromium and iron in nickel at 1600C by mass spectro metry / Wagner S., Shade D.J., Pierre G.R. // Meta l lurg. Trans. – 1972. – № 3. – P.47-53. 186. Whitely J.H. Rational selection of alternate materials for electrical connector contacts // Proc 24 th Electronic Components Conference. – Was h ington DC, May, 1974. 187. Wilder T.C. The thermodynamic properties of liquid aluminium-copper sy s tem // Trans AIME2. – 1965, vol.233. – P.1202. 188. Wojtas H. Corrosion and electrochemical characterization of rapidly solidified Cu-B, Cu-Al-B, Cu-Cr-Zn alloys / Wojtas H., Bachni H. // Mater. Sci and Eng. A. – 1991. – v.134. – P. 1065-1069. 189. Zinsmeister G. The direct evaporation of alloys // Vakuum-Tech. – 1964. – №8. – P.233-240. 190. Ляпина Е.В. Физико-химические основы процесса получения конденсационных многокомпонентных покрытий прямым испарением спл а вов в вакууме / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. – К., 2004. – 34с. – Деп. в ГНТБ Украины 11.10.04, №66 – ММ 04.
1Архитектура и строительство
2Астрономия, авиация, космонавтика
 
3Безопасность жизнедеятельности
4Биология
 
5Военная кафедра, гражданская оборона
 
6География, экономическая география
7Геология и геодезия
8Государственное регулирование и налоги
 
9Естествознание
 
10Журналистика
 
11Законодательство и право
12Адвокатура
13Административное право
14Арбитражное процессуальное право
15Банковское право
16Государство и право
17Гражданское право и процесс
18Жилищное право
19Законодательство зарубежных стран
20Земельное право
21Конституционное право
22Конституционное право зарубежных стран
23Международное право
24Муниципальное право
25Налоговое право
26Римское право
27Семейное право
28Таможенное право
29Трудовое право
30Уголовное право и процесс
31Финансовое право
32Хозяйственное право
33Экологическое право
34Юриспруденция
 
35Иностранные языки
36Информатика, информационные технологии
37Базы данных
38Компьютерные сети
39Программирование
40Искусство и культура
41Краеведение
42Культурология
43Музыка
44История
45Биографии
46Историческая личность
47Литература
 
48Маркетинг и реклама
49Математика
50Медицина и здоровье
51Менеджмент
52Антикризисное управление
53Делопроизводство и документооборот
54Логистика
 
55Педагогика
56Политология
57Правоохранительные органы
58Криминалистика и криминология
59Прочее
60Психология
61Юридическая психология
 
62Радиоэлектроника
63Религия
 
64Сельское хозяйство и землепользование
65Социология
66Страхование
 
67Технологии
68Материаловедение
69Машиностроение
70Металлургия
71Транспорт
72Туризм
 
73Физика
74Физкультура и спорт
75Философия
 
76Химия
 
77Экология, охрана природы
78Экономика и финансы
79Анализ хозяйственной деятельности
80Банковское дело и кредитование
81Биржевое дело
82Бухгалтерский учет и аудит
83История экономических учений
84Международные отношения
85Предпринимательство, бизнес, микроэкономика
86Финансы
87Ценные бумаги и фондовый рынок
88Экономика предприятия
89Экономико-математическое моделирование
90Экономическая теория

 Анекдоты - это почти как рефераты, только короткие и смешные Следующий
Делаем зарядку для души. Взяли грех на душу. Держим. Раз. Два. Три. Покаялись. Отдыхаем.
Anekdot.ru

Узнайте стоимость курсовой, диплома, реферата на заказ.

Обратите внимание, диплом по физике "Современное состояние исследований в области функциональных конденсационных покрытий высокой проводимости", также как и все другие рефераты, курсовые, дипломные и другие работы вы можете скачать бесплатно.

Смотрите также:


Банк рефератов - РефератБанк.ру
© РефератБанк, 2002 - 2016
Рейтинг@Mail.ru